[發明專利]局部加熱的多區域基板支撐件

在審

• 申請號: 201480040003.6
• 申請日: 2014-07-25
• 公開（公告）號: CN105408993A
• 公開（公告）日: 2016-03-16
• 發明（設計）人: 邁克爾·S·考克斯
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/324
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種靜電夾具，包括：

絕緣基部；

介電層，所述介電層設置于所述絕緣基部上，所述介電層具有基板支撐表面；

電極組件，所述電極組件設置于所述絕緣基部與所述基板支撐表面之間；及

多個加熱元件，所述多個加熱元件耦接至所述絕緣基部，所述加熱元件排列成至少一個或更多個加熱元件的獨立可控的群組，所述加熱元件被配置成方位角地控制橫跨基板表面的溫度分布。

2.如權利要求2所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件被設置為與所述電極組件共面，或被設置于與所述電極組件不同的層中。

3.如權利要求1所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件形成在所述絕緣基部的頂表面上或形成在所述絕緣基部的背側表面上。

4.如權利要求3所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件排列成格狀配置、像素狀或點狀配置、極陣列配置、或同心配置。

5.如權利要求1所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件為分離的金屬區段的形式。

6.如權利要求1所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件包括電阻式加熱元件或電感式加熱元件。

7.如權利要求1所述的靜電夾具，其中所述電極組件具有至少兩個交錯電極。

8.如權利要求7所述的靜電夾具，其中所述至少兩個交錯電極包括第一組電極指及第二組電極指，其中所述第一組電極指被配置以產生電荷，所述電荷具有不同于所述第二組電極指的極性。

9.如權利要求1所述的靜電夾具，其中所述電極組件排列成格狀配置、像素狀或點狀配置、極陣列配置、或同心配置。

10.如權利要求1所述的靜電夾具，其中所述介電層及所述絕緣基部由玻璃材料或陶瓷材料制成。

11.一種靜電夾具，包括：

絕緣基部，所述絕緣基部具有第一表面及與所述第一表面相對的第二表面；

電極組件，所述電極組件形成在所述絕緣基部的所述第一表面上，所述電極組件具有與第二電極交錯的第一電極；

多個加熱元件，所述多個加熱元件形成在所述第一電極與所述第二電極的交錯部分之間；及

封裝構件，所述封裝構件耦接至所述電極組件。

12.如權利要求11所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件為排列成格狀配置、像素狀或點狀配置、極陣列配置、或同心配置的分離區段或連續線的形式。

13.如權利要求11所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件包括電阻式加熱元件或電感式加熱元件。

14.如權利要求11所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件形成在所述絕緣基部的所述第一表面或所述第二表面上。

15.如權利要求11所述的靜電夾具，其中所述多個加熱元件被設置成與所述電極組件共面，或被設置于與所述電極組件不同的層中。