[發明專利]柔性顯示裝置的制造方法和柔性顯示裝置

有效

• 申請號: 201480039916.6
• 申請日: 2014-07-07
• 公開（公告）號: CN105379422B
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 安田有希
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;G02F1/13;G09F9/00;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04;H05B33/06
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳,池兵

技術領域

本發明涉及柔性顯示裝置的制造方法和柔性顯示裝置。更詳細而言，涉及具備有機電致發光元件或液晶層等顯示元件的柔性顯示裝置的制造方法和柔性顯示裝置。

背景技術

近年來，液晶顯示裝置、有機電致發光顯示裝置等薄型顯示裝置快速普及，為了進一步提高這些薄型顯示裝置的商品性，正在進行具備新的功能的下一代顯示裝置的開發。作為這樣的下一代顯示裝置之一，可以列舉能夠彎曲的柔性顯示裝置。

為了制造柔性顯示裝置，需要在柔性的基板上形成薄膜晶體管等元件。作為用于進行該形成的方法，已知有將在玻璃基板上預先形成的薄膜晶體管轉印至柔性的基板上的方法(例如，參照專利文獻1、2)。在該方法中，在專利文獻2中，用于與外部端子連接的端子的取出，通過利用蝕刻將位于端子上部的層的規定部分除去來進行。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2004-214281號公報

專利文獻2：日本特開2009-205941號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

在柔性顯示裝置的制造中，根據端子的取出方法，存在使端子受到損傷、發生顯示元件的特性的劣化的情況。例如，在上述專利文獻2中記載的發明中，通過利用氫氟酸對如上述專利文獻2的圖9所示的玻璃基板進行蝕刻，并利用反應性離子蝕刻法將保護膜蝕刻除去，使端子露出。但是，在進行使用氫氟酸的濕式蝕刻的情況下，通常在濕式蝕刻之后存在清洗工序，因此，不能充分地防止水分從如上述專利文獻2的圖9所示的柔性基板和密封件侵入，可認為會發生有機電致發光元件的特性劣化的問題。

這樣，在具備有機電致發光元件的柔性顯示裝置的情況下，當通過利用濕式蝕刻等將位于端子上部的密封用的柔性基材或粘接層等除去而進行端子的取出時，存在有機電致發光元件的特性劣化的情況。這是因為，有機電致發光元件具有易受水分和氧氣影響的性質。此外，即使在以覆蓋有機電致發光元件的方式形成密封膜的情況下，也不能充分地防止由濕式蝕刻等引起的水分等的侵入的影響。

另一方面，在柔性顯示裝置的制造方法中，為了使得不進行端子的取出工序，例如可以考慮使密封用的柔性基材和粘接層有選擇地與端子上部(覆蓋端子的部分)以外的部分貼合。但是，在該情況下，在作為貼合與密封用的柔性基材相對的柔性基材的前階段，將玻璃基板剝離時，沒有支承端子的部件(例如，密封用的柔性基材和粘接層)，因此，存在在玻璃基板的剝離時產生端子的破損和褶皺等損傷的情況。

本發明是鑒于上述現狀而做出的，其目的是提供能夠不損傷端子地進行端子的取出并且充分地防止顯示元件的特性的劣化的柔性顯示裝置的制造方法、和能夠利用上述柔性顯示裝置的制造方法制造的柔性顯示裝置。

用于解決技術問題的手段

本發明的發明人對能夠不損傷端子地進行端子的取出并且充分地防止顯示元件的特性的劣化的柔性顯示裝置的制造方法進行了各種研究，著眼于在端子上預先形成與端子的界面的密合力弱的剝離層。發現了，通過使剝離層與端子的界面的密合力在位于剝離層與沒有設置端子的相對側的柔性基材之間的界面中最弱，從相對側的柔性基材側將剝離層的上層切斷，進一步在剝離層形成切口直至不到達與端子的界面的深度，將被切斷的剝離層剝離，將被切斷的剝離層的上層和剝離層除去，能夠不損傷端子地進行端子的取出。此外，發現了，因為不是利用濕式蝕刻等濕式的方法而是利用干式的方法進行端子的取出，所以能夠充分地防止顯示元件的特性的劣化。由此，想到能夠很好地解決上述技術問題，實現了本發明。

即，根據本發明的一個方式，可以為一種柔性顯示裝置的制造方法，該柔性顯示裝置具備通過第一粘接層貼合的第一柔性基材和第二柔性基材，該柔性顯示裝置的制造方法的特征在于，依次包括下述工序(1)～(4)：

工序(1)，在上述第一柔性基材或臨時的支承基板的主面上的顯示區域形成配線，并且在上述主面上的端部區域形成從上述配線導出的多個端子；

工序(2)，形成直接覆蓋上述多個端子的剝離層；

工序(3)，在上述顯示區域和上述端部區域依次配置包括上述第一粘接層和上述第二柔性基材的多個層，使得在位于上述剝離層與上述第二柔性基材之間的界面，得到比上述剝離層與上述多個端子的界面的密合力更強的密合力；和