[發明專利]原位可移除式靜電夾盤

有效

• 申請號: 201480038576.5
• 申請日: 2014-07-22
• 公開（公告）號: CN105359265B
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 邁克爾·S·考克斯;勞拉·哈夫雷查克;史蒂芬·V·桑索尼
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H02N13/00;B23Q3/15
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種靜電夾盤，包括：

實質上剛性的支撐層，所述支撐層具有底表面與頂表面，所述底表面界定所述靜電夾盤的底部；

第一電極；

第二電極，所述第二電極至少部分插入于所述第一電極；

電介質層，所述電介質層具有頂表面，所述頂表面界定所述靜電夾盤的頂部，所述第一與第二電極設置于所述電介質層的所述頂表面與所述支撐層的所述頂表面之間，所述支撐層、第一電極、第二電極與電介質層形成單一主體；及

第一連接器，所述第一連接器耦接于所述第一電極并且暴露至所述靜電夾盤的所述底部；及

第二連接器，所述第二連接器耦接于所述第二電極并且暴露至所述靜電夾盤的所述底部，所述第一與第二連接器配置成經由具有彈簧裝載的導體的接觸而電連接于電源。

2.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中所述第一連接器包括導電墊。

3.如權利要求2所述的靜電夾盤，進一步包括：

一或更多個導電通孔，所述一或更多個導電通孔通過所述支撐層將所述導電墊電連接至所述第一電極。

4.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中所述第一電極包括多個指部，所述多個指部插入于所述第二電極的多個指部。

5.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中所述支撐層與所述電介質層具有氣體導管形成于其中以及三或更多個升舉桿孔形成通過其中。

6.如權利要求4所述的靜電夾盤，其中所述電介質層的所述頂表面具有一或更多個氣體通道形成于其中，所述氣體通道耦接于所述氣體導管。

7.一種用于夾持基板的設備，包括：

(a)支撐構件，包括：

頂表面；

多個第一升舉桿，所述多個第一升舉桿設置通過形成通過所述頂表面的孔；

多個第二升舉桿，所述多個第二升舉桿設置通過形成通過所述頂表面的孔；

(b)靜電夾盤，所述靜電夾盤設置于所述支撐構件的所述頂表面上，所述靜電夾盤包括：

實質上剛性的支撐層，所述支撐層具有底表面與頂表面，所述底表面界定所述靜電夾盤的底部；

第一電極，所述第一電極至少部分插入于第二電極；

電介質層，所述電介質層具有頂表面，所述頂表面界定所述靜電夾盤的頂部，所述第一與第二電極設置于所述電介質層的所述頂表面與所述支撐層的所述頂表面之間；

(c)第一致動器，所述第一致動器配置成將所述多個第一升舉桿轉移于升高位置與縮回位置之間，所述升高位置突伸通過所述電介質層的所述頂表面，且所述縮回位置齊平或低于所述電介質層的所述頂表面；及

(d)第二致動器，所述第二致動器配置成將所述多個第二升舉桿轉移于升高位置與縮回位置之間，所述升高位置使所述靜電夾盤間隔于所述支撐構件的所述頂表面，且所述縮回位置使所述靜電夾盤坐落于所述支撐構件的所述頂表面上。

8.如權利要求7所述的設備，其中所述支撐構件的所述頂表面包括：

凹部，用于接收所述靜電夾盤。

9.如權利要求8所述的設備，其中所述靜電夾盤包括：

一或更多個氣體輸送凹槽，所述一或更多個氣體輸送凹槽形成于所述靜電夾盤的外部邊緣并且耦接于形成于所述靜電夾盤的所述頂表面中的一或更多個氣體輸送凹槽，形成于所述靜電夾盤的所述外部邊緣中的所述氣體輸送凹槽由形成于所述支撐構件的所述頂表面的所述凹部的側壁圍繞。

10.如權利要求8所述的設備，其中所述靜電夾盤與所述支撐構件具有電連接，所述電連接配置成響應于所述靜電夾盤相對于所述支撐構件的位置而自動地接合與分離。

11.如權利要求8所述的設備，其中所述電介質層包括熱膨脹系數為等于所述支撐層的熱膨脹系數。

12.如權利要求8所述的設備，其中所述第一電極包括多個指部，所述多個指部插入于所述第二電極的多個指部。