[發明專利]用于測量樣品的散射的設備

有效

• 申請號: 201480031509.0
• 申請日: 2014-04-07
• 公開（公告）號: CN105393106B
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 格特·辛恩;克勞斯-亨利克·米滕茨韋
• 申請（專利權）人: 羅姆有限責任公司
• 主分類號: G01N21/53
• 分類號: G01N21/53
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 丁永凡;張春水

1.一種用于測量樣品(2)的散射的設備，所述設備具有：

-用于接收所述樣品(2)的散射輻射的至少一個第一散射接收器(16)和第二散射接收器(17)；

-用于接收在朝向所述樣品(2)的邊界面處鏡面反射的輻射的至少一個折射接收器(15)和/或用于接收透射穿過所述樣品的輻射的至少一個透射接收器(18)，和

-至少一個成像元件(6)，經由所述成像元件，輻射能夠到達至所述樣品(2)并且從所述樣品(2)到達至所述散射接收器(16，17)，

其特征在于，

所述第一散射接收器(16)和所述第二散射接收器(17)設置在共同的平坦的或者至少近似球形彎曲的面(3)中，所述面垂直于所述成像元件(6)的光軸取向，其中所述第一散射接收器(16)構成和設置用于接收所述樣品(2)的飽和的散射輻射，并且所述第二散射接收器(17)構成和設置用于接收所述樣品(2)的線性的散射輻射，其中所述第一散射接收器設置為，使得所述第一散射接收器與所述第二散射接收器相比接收出自所述樣品的更大體積的散射輻射，其中所述折射接收器(15)和/或所述透射接收器(18)同樣設置在共同的平坦的或者至少近似球形彎曲的面(3)中，

設有設置在所述散射接收器(16，17)的所述面(3)中的第一輻射源(4a)，其中所述第一散射接收器(16)直接接近所述第一輻射源(4a)地設置，并且所述第二散射接收器(17)直接接近所述折射接收器(15)地設置，所述設備包括第一保護元件(7)，所述第一保護元件設置在所述樣品(2)的朝向所述散射接收器(16，17)的一側上，并且其中所述折射接收器構成用于接收在所述第一保護元件(7)的樣品側的邊界面處鏡面反射的輻射。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述面(3)在所述成像元件(6)的焦平面中伸展，在所述面中設置有所述散射接收器(16，17)。

3.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述第二散射接收器(17)設置為，使得所述第二散射接收器接收出自所述樣品(2)的能預設的體積的散射輻射。

4.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述第二散射接收器(17)設置為，使得所述第二散射接收器接收出自所述樣品(2)的能預設的體積的散射輻射，其中能預設的所述體積通過如下方式預設：由所述第一輻射源(4a)產生的輻射的橫截面和/或所述散射輻射的橫截面由光闌確定。

5.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述第二散射接收器(17)設置為，使得所述第二散射接收器接收出自所述樣品(2)的能預設的體積的散射輻射，其中能預設的所述體積通過所述成像元件(6)距共同的所述面(3)和/或距所述樣品(2)的間距確定。

6.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述第一散射接收器(16)與所述第二散射接收器(17)相比離所述第一輻射源(4a)更近地設置。

7.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述第二散射接收器(17)與所述第一散射接收器(16)相比離所述折射接收器(15)更近地設置。

8.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，設有第二保護元件(8)，所述第二保護元件設置在所述樣品(2)的背離所述散射接收器(16，17)的一側上。

9.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，設有反射器(9)，所述反射器設置在所述樣品(2)的背離所述散射接收器(16，17)的一側上。

10.根據權利要求9所述的設備，其特征在于，所述反射器(9)是鏡面反射的或者是漫反射的。