[發明專利]振動裝置

有效

• 申請號: 201480031140.3
• 申請日: 2014-07-03
• 公開（公告）號: CN105340177B
• 公開（公告）日: 2018-04-24
• 發明（設計）人: 長谷貴志;西村俊雄;開田弘明
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/24
• 分類號: H03H9/24
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 舒艷君,李洋

技術領域

本發明涉及在振動部連結有用于支承該振動部的支承部的振動裝置。

背景技術

以往，采用利用了各種振動模式的振動裝置作為共振子等。在這樣的振動裝置中，需要支承振動部以便不妨礙振動部的振動。

在下述的專利文獻1中，在沿著以長度模式振動的振動部的長度方向的面的中央連結有T字形狀的支承部。T字形狀的支承部具有朝第一方向延伸的第一部分、和連結于第一部分的一方的側面的中央且向與第一方向正交第二方向延伸的第二部分。該第二部分的前端被連結于振動部。第一部分的與連結于第二部分側的側面相反側的側面面對設置于基部的狹縫。該狹縫朝第一部分的延伸方向延長。

在該T字形狀的支承部中，從第二部分傳播過來的振動使第一部分的面對于上述狹縫的部分彎曲振動。第一部分的彎曲振動的部分構成振動反射部。該振動反射部的長度、即沿著第一方向的長度被設為從振動部傳輸的主振動的波長λ的1/4。

在下述的專利文獻2中，在沿著振動部的長度方向的面的中央連結有支承部。在支承部連結有被設置包圍振動部的支承框。該支承框通過導電性粘合劑等被保持于封裝部件。由此，被形成為能夠抑制支承部的破損。另外，通過使支承部的形狀呈T字形狀等，從而能夠抑制振動的泄漏。

專利文獻1：WO2010/110918

專利文獻2：日本特開平10－117120號公報

在專利文獻1所記載的振動裝置中，上述振動反射部的長度被設為λ/4。因此，振動未被封閉，在基部側振動容易泄漏。

另外，與T字形狀支承部的第一部分的兩端連續的保持部分的面積較小。因此，T字形狀的支承腕與保持部分的聲音阻抗差小，無法得到充分的聲音反射效果。

在專利文獻2所記載的振動裝置中，沒有考慮到任何關于支承部的形狀和尺寸與振動部中被激振的振動的波長的關系。因此，無法充分地抑制振動的泄漏。

發明內容

本發明的目的在于提供一種能夠將振動部的振動可靠地封閉于振動部側的振動裝置。

本發明涉及的振動裝置具備振動部、支承部以及基部。上述支承部具有第一端部和與上述第一端部相反側的第二端部。上述支承部的上述第一端部連結于上述振動部。上述支承部支承該振動部。

上述基部與上述支承部的上述第二端部相連。上述基部具有被設置包圍上述振動部的框狀的形狀。在本發明中，在上述基部形成有向與上述支承部延伸的方向交叉的方向延伸的狹縫，以便在上述支承部與連結于上述支承部的第二端部的上述基部的部分之間設置兩端被作為固定端的彎曲振動部。

在本發明中，上述彎曲振動部的兩端與基部的剩余部分連續，該連續的部分被作為上述彎曲振動部的固定端。

在本發明中，當將與上述振動部中的固有振動的頻率對應的該彎曲振動的波長設為λ時，上述彎曲振動部的連結于上述支承部的第二端部的部分與該彎曲振動部的上述固定端之間的長度被設為λ/4。

在本發明涉及的振動裝置的一確定的方式中，整體是板狀體，在板狀體形成有多個貫通槽，上述多個貫通槽包圍除了設置有上述支承部的部分以外的上述振動部，以便構成上述振動部、上述支承部以及上述基部。

在本發明涉及的振動裝置的其它確定的方式中，上述振動部具有由簡并半導體形成的Si層、和被層疊在上述Si層上的激振部，該激振部具有壓電體層、和用于在上述壓電體層施加電壓的第一電極、第二電極。

在本發明涉及的振動裝置的又一確定的方式中，上述振動部的外周緣和上述基部之間的距離與上述振動部的外周緣和上述彎曲振動部之間的距離相等。

在本發明涉及的振動裝置的另外的確定的方式中，上述振動部的外周緣和上述基部之間的距離小于上述振動部的外周緣和上述彎曲振動部之間的距離。

在本發明涉及的振動裝置中，彎曲振動部的兩端與基部的剩余部分連續，由于使該連續的部分被作為固定端，所以能夠得到充分的聲音反射效果。因此，通過彎曲振動部的振動，能夠可靠地使從振動部傳輸過來的振動反射到振動側。因此，能夠可靠地將振動封閉于振動部側。

附圖說明

圖1(a)是本發明的第一實施方式涉及的振動裝置的俯視圖，圖1(b)是表示其主要部分的正面剖視圖。

圖2是用于說明本發明的第一實施方式中的支承部與彎曲振動部的尺寸關系的部分切口俯視圖。

圖3是本發明的第二實施方式涉及的振動裝置的俯視圖。

圖4是本發明的第三實施方式涉及的振動裝置的俯視圖。

圖5是本發明的第四實施方式涉及的振動裝置的俯視圖。