[發明專利]設置有連接片的光學結構和用于制造該光學結構的方法

有效

• 申請號: 201480030206.7
• 申請日: 2014-05-23
• 公開（公告）號: CN105556372B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 弗蘭克·維佩曼;安德烈亞斯·賴曼;尼古拉斯·蘭格;安德烈亞斯·布羅伊爾
• 申請（專利權）人: 弗勞恩霍夫應用研究促進協會
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 丁永凡;張春水

1.一種設備，所述設備具有：

光學結構(12)；

至少兩個連接片(14；14a-p)，所述連接片分別將所述光學結構(12)與用于承載的結構(16)連接；和

用于使所述光學結構(12)轉向的靜電驅動器(182a；182b)，

其中所述靜電驅動器(182a；182b)包括懸臂式電極(174a；174b)和與所述懸臂式電極電絕緣的靜態電極(176a；176b)，所述靜態電極至少部分地與所述懸臂式電極(174a；174b)相對置，

其中所述懸臂式電極(174a；174b)設置在至少一個連接片(14；14a-p)的至少一個部段(166a；166b)上或者設置所述至少一個部段中，并且其中所述懸臂式電極(174a；174b)至少部分地從至少一個所述連接片(14；14a-p)的設置有所述連接片(14；14a-p)的平面中在至少一個所述連接片(14；14a-p)的所述部段(166a；166b)處轉向，并且沿著朝所述靜態電極(176a；176b)的方向轉向，以便在所述懸臂式電極(174a；174b)和所述靜態電極(176a；176b)之間施加電場(186)時引起所述連接片(14；14a-p)的變形。

2.根據權利要求1所述的設備，所述設備具有間距保持器(128)，所述間距保持器設置在所述懸臂式電極(174a；174b)和所述靜態電極(176a；176b)之間。

3.根據權利要求1所述的設備，其中間距保持器(128)包括絕緣層，所述絕緣層至少部分地設置在所述懸臂式電極(174a；174b)和/或所述靜態電極(176a；176b)上。

4.根據權利要求1所述的設備，其中所述懸臂式電極(174a；174b)和所述靜態電極(176a；176b)之間的間距始于與所述用于承載的結構(16)相鄰的位置在所述靜電驅動器(182a；182b)未轉向的狀態下沿著朝所述光學結構(12)的方向增加。

5.根據權利要求1所述的設備，其中所述懸臂式電極(174a；174b)至少部分地嵌入到所述連接片(14；14a-p)中。

6.根據權利要求1所述的設備，其中所述靜態電極(176a；176b)包括如下部段，在不施加電場(186)的情況下所述懸臂式電極(174a；174b)貼靠在所述部段上。

7.根據權利要求1所述的設備，所述設備具有電極載體(168)，所述靜態電極(176a；176b)安置在所述電極載體上。

8.根據權利要求7所述的設備，其中所述電極載體(168)具有平的輪廓。

9.根據權利要求7所述的設備，其中所述電極載體(168)借助于粘膠(134a；134b)設置在所述用于承載的結構(16)上。

10.根據權利要求9所述的設備，其中所述電極載體(168)和/或所述用于承載的結構(16)具有周邊結構(148a；148b；152a；152b)，所述周邊結構構成連接片(14；14a-p)和電極載體(168)之間的接合區(182a；182b)和/或用于所述粘膠(134a；134b)的引入地點。

11.根據權利要求9所述的設備，其中所述電極載體(168)設置在所述用于承載的結構(16)上，使得所述靜態電極(176a；176b)朝向第一電極(172a；172b)，并且在所述承載結構(16)和所述電極載體(168)之間構成至少一個接觸部位，其中在這兩個電極(172a；172b；176a；176b)之間的接觸部位處僅設置有所述粘膠(134a；134b)和間距保持器(128)，并且其中所述連接片(14；14a-p)的部段(166a-b)分別形成懸臂式電極(174a；174b)。