[發(fā)明專利]對準(zhǔn)傳感器、光刻設(shè)備和對準(zhǔn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480025903.3
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN105190446B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·J·登博夫;S·馬蒂杰森;P·蒂內(nèi)曼斯
• 申請（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所11256
• 代理人: 王茂華,張寧

1.一種對準(zhǔn)傳感器，包括：

至少一個照明源，包括可操作成以取決于波長的角度衍射高階輻射的衍射照明結(jié)構(gòu)；以及

照明光學(xué)器件，可操作成從相對方位角方向的至少一個配對將來自所述至少一個照明源的所述衍射的照明輻射遞送至衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)上的點(diǎn)上，其中所述對準(zhǔn)傳感器可操作成使得在由所述衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)將所述照明輻射衍射之后，并且獨(dú)立于所述照明輻射中所包括的波長：

從相對方位角方向的每個配對中的第一個入射的輻射的第零階衍射與從相對方位角方向的每個配對中的第二個入射的輻射的高階衍射重疊；以及

從相對方位角方向的每個配對中的第二個入射的輻射的第零階衍射與從相對方位角方向的每個配對中的第一個入射的輻射的高階衍射重疊；

由此采用重疊的第零階光學(xué)放大所述高階衍射。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述照明源是多波長照明源，并且所述對準(zhǔn)傳感器可操作成針對入射在所述衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)上的每個分量波長采用重疊的第零階光學(xué)放大所述高階衍射。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，從相對方位角方向的每個配對中的所述第一方向和第二方向入射在所述衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)上的輻射是相干的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的對準(zhǔn)傳感器，其中從相對方位角方向的每個配對中的所述第一方向和所述第二方向入射在所述衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)上的輻射針對每個分量波長具有相同的入射角。

5.根據(jù)先前權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述照明光學(xué)器件使得在從所述衍射照明結(jié)構(gòu)衍射之后，從相對方位角方向的每個配對中的第一個入射在所述衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)上的輻射包括正高階衍射的輻射，并且從相對方位角方向的每個配對中的第二個入射在所述衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)上的輻射包括負(fù)高階衍射的輻射。

6.根據(jù)先前權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述衍射照明結(jié)構(gòu)具有所述衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的節(jié)距乘以所述照明光學(xué)器件的縮放因子的兩倍的節(jié)距。

7.根據(jù)先前權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述衍射照明結(jié)構(gòu)包括空間光調(diào)制器。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述空間光調(diào)制器可操作成調(diào)制其所調(diào)制光的幅度、相位和/或偏振。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述空間光調(diào)制器可操作成將所需衍射照明結(jié)構(gòu)圖案網(wǎng)格快照至具有由所述空間光調(diào)制器的單獨(dú)的可切換元件所限定的不可分割網(wǎng)格元件的網(wǎng)格。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述所需衍射照明結(jié)構(gòu)圖案需要構(gòu)成所述照明結(jié)構(gòu)圖案的一個或多個單獨(dú)的圖案元件的寬度具有不是每個不可分割網(wǎng)格元件的相關(guān)尺寸的整數(shù)倍的數(shù)值；以及

所述空間光調(diào)制器可操作成通過沿著單個圖案結(jié)構(gòu)的長度在每個不可分割網(wǎng)格元件的相關(guān)尺寸的整數(shù)倍的數(shù)值之間改變所述單獨(dú)的圖案元件的寬度來近似所述單獨(dú)的圖案元件。

11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述所需衍射照明結(jié)構(gòu)定向成關(guān)于所述網(wǎng)格非正交，由此引起在衍射照明結(jié)構(gòu)內(nèi)包括的邊緣的混淆效應(yīng)，所述空間光調(diào)制器可操作成使用抗混淆技術(shù)減輕所述混淆效應(yīng)以使得在所述邊緣處的網(wǎng)格元件具有色調(diào)的中間變化。

12.根據(jù)權(quán)利要求7至11中任一項(xiàng)所述的對準(zhǔn)傳感器，包括參考支路，所述參考支路可操作成測量所述空間光調(diào)制器中的漂移。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述參考支路包括干涉儀，所述干涉儀可操作成確定從相對方位角方向的每個配對中的第一方向與第二方向入射在所述衍射對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)上的輻射之間的相位差。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述參考支路可操作成輸出兩個參考支路輸出信號，其隨著所確定的相位差改變而反相改變，所述空間光調(diào)制器的漂移是根據(jù)所述參考支路輸出信號的差值而確定的。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的對準(zhǔn)傳感器，其中，所述參考支路可操作成根據(jù)所述參考支路輸出信號的總和測量從所述照明源發(fā)出的輻射中的噪聲強(qiáng)度。