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[發明專利]用于確定對象的空間結構的方法和系統有效

專利信息
申請號: 201480024861.1 申請日: 2014-04-30
公開(公告)號: CN105164507B 公開(公告)日: 2019-07-26
發明(設計)人: C.格拉澤納普;M.霍瑙爾;A.漢森;Y.施萊策爾;L.奧姆洛爾 申請(專利權)人: 卡爾蔡司光學國際有限公司;卡爾蔡司股份公司
主分類號: G01M11/02 分類號: G01M11/02;G01B11/24
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 盧江;陳嵐
地址: 德國*** 國省代碼: 德國;DE
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 確定 對象 空間結構 方法 系統
【權利要求書】:

1.用于確定對象的空間結構的方法,所述對象具有第一光學有效面(614)和第二光學有效面(616),所述方法具有以下步驟:

將所述對象(612)布置在保持裝置(610,810)中;

在相對于所述保持裝置(610,810)位置固定的坐標系(618,818)中參考所述第一光學有效面(614)上的至少一個點(P)的位置與所述第二光學有效面(616)上的至少一個點(P')的位置;

在針對相對于所述保持裝置(610,810)位置固定的坐標系(618,818)參考的坐標系(659)中確定所述對象(612)的第一光學有效面(614)的形貌;以及

由所述第一光學有效面(614)的形貌并且由針對所述保持裝置(610,810)的位置固定的坐標系(618,818)參考的、關于所述第二光學有效面(616)的形貌的數據組計算所述對象(612)的空間結構,

其特征在于,

在針對所述保持裝置(610,810)參考的坐標系(659)中通過以下方式確定所述對象(612)的第一光學有效面(614)的形貌,即由多個點光源(684,684')提供光,所述光在所述第一光學有效面(614)上被反射,檢測第一亮度分布,所述第一亮度分布由所述點光源(684,684')的在所述第一光學有效面(614)上被反射的光在圖像傳感器(678,678')上引起,并且由所述對象(612)的第一光學有效面(614)上的至少一個點(P)的位置并且由所檢測的第一亮度分布在針對所述保持裝置(610,810)參考的坐標系(659)中計算所述第一光學有效面(614)的形貌。

2.用于確定對象的與位置和方向有關的光學效果的方法,所述對象具有第一光學有效面(614)和第二光學有效面(616),其特征在于以下步驟:

借助在權利要求1中所說明的方法確定所述對象(612)的空間結構;以及

由所述對象(612)的所確定的空間結構借助射線跟蹤方法計算所述對象(612)的與位置和方向有關的光學效果。

3.根據權利要求1或2所述的方法,其特征在于,通過以下方式確定針對所述位置固定的坐標系(618,818)參考的、關于所述第二光學有效面(616)的形貌的數據組,即由多個點光源(684,684')提供光,所述光在所述第二光學有效面(616)上被反射,檢測第二亮度分布,所述第二亮度分布由所述點光源(684,684')的在所述第二光學有效面(616)上被反射的光在圖像傳感器(678,678')上引起,并且由所述對象(612)的第二光學有效面(616)上的至少一個點(P')的位置并且由所檢測的第二亮度分布在相對于所述保持裝置(610,810)位置固定的坐標系(618,818)中計算所述第二光學有效面(616)的形貌。

4.根據權利要求1或2所述的方法,其特征在于,為了在對象固定的坐標系(622)中說明所述對象(612)的空間結構,針對對象固定的坐標系(622)參考相對于所述保持裝置(610,810)位置固定的坐標系(618,818)。

5.根據權利要求4所述的方法,其特征在于,通過確定在所述對象(612)上施加的標記(628)相對于對象固定的坐標系(622)的位置來參考相對于所述保持裝置(610,810)位置固定的坐標系(618,818)。

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