[發(fā)明專利]圖像取得裝置、制作試樣的焦點圖的方法以及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480023710.4
• 申請日: 2014-04-21
• 公開（公告）號: CN105143953B
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 巖瀬富美雄;奧河正利
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G02B21/36
• 分類號: G02B21/36;G02B7/28;G02B7/36;G02B21/26;H04N5/232
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

1.一種圖像取得裝置，其特征在于：

具備：

工作臺，載置試樣；

導(dǎo)光光學系統(tǒng)，包含以與所述工作臺上的所述試樣相對峙的方式配置的物鏡；

攝像元件，對由所述導(dǎo)光光學系統(tǒng)導(dǎo)光后的所述試樣的光學圖像進行攝像；

對準焦點計算部，基于來自所述攝像元件的圖像數(shù)據(jù)，計算所述試樣的對準焦點信息；

焦點圖制作部，基于所述對準焦點信息制作所述試樣的焦點圖；

第1驅(qū)動部，使相對于所述試樣的所述物鏡的視野位置移動；

第2驅(qū)動部，變更相對于所述試樣的所述物鏡的焦點位置；以及

控制部，控制所述攝像元件、所述第1驅(qū)動部以及所述第2驅(qū)動部，

所述攝像元件是具有多列像素列并且能夠滾動讀出的二維攝像元件，

所述控制部以一邊使相對于所述試樣的所述物鏡的視野位置移動一邊使相對于所述試樣的所述物鏡的焦點位置在所述物鏡的光軸方向上往復(fù)移動的方式控制所述第1驅(qū)動部以及所述第2驅(qū)動部并且實施由所述攝像元件的滾動讀出進行的所述圖像數(shù)據(jù)的取得，

所述焦點圖制作部基于由所述對準焦點計算部計算出的多個對準焦點信息來制作焦點圖。

2.如權(quán)利要求1所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述控制部具有范圍決定部，所述范圍決定部決定由所述第2驅(qū)動部得到的相對于所述試樣的所述物鏡的焦點位置的關(guān)于所述物鏡的光軸方向的往復(fù)移動的條件。

3.如權(quán)利要求2所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述范圍決定部在計算一個對準焦點信息的時候基于在所述一個對準焦點信息之前被計算出的對準焦點信息來決定所述往復(fù)移動的折返位置上的所述物鏡的焦點位置。

4.如權(quán)利要求2所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述范圍決定部使所述物鏡的焦點位置的關(guān)于所述物鏡的光軸方向的變更寬度在所述往復(fù)移動的每個去程以及每個回程可變。

5.如權(quán)利要求3所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述范圍決定部使所述物鏡的焦點位置的關(guān)于所述物鏡的光軸方向的變更寬度在所述往復(fù)移動的每個去程以及每個回程可變。

6.如權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述焦點圖制作部基于由所述物鏡的焦點位置的往復(fù)移動而在去程中被計算出的對準焦點信息以及在回程中被計算出的對準焦點信息中的至少一方的對準焦點信息來制作所述焦點圖。

7.如權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述控制部具有設(shè)定相對于所述試樣的二維圖像取得區(qū)域并且設(shè)定在所述圖像取得區(qū)域中在一個方向上進行延伸的多條攝像線的攝像線設(shè)定部，

所述控制部以從由所述攝像線設(shè)定部設(shè)定的所述攝像線選擇一條或者多條所述攝像線并且關(guān)于所選擇的所述攝像線使相對于所述試樣的所述物鏡的視野位置進行移動的方式控制所述第1驅(qū)動部。

8.如權(quán)利要求6所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述控制部具有設(shè)定相對于所述試樣的二維圖像取得區(qū)域并且設(shè)定在所述圖像取得區(qū)域中在一個方向上進行延伸的多條攝像線的攝像線設(shè)定部，

所述控制部以從由所述攝像線設(shè)定部設(shè)定的所述攝像線選擇一條或者多條所述攝像線并且關(guān)于所選擇的所述攝像線使相對于所述試樣的所述物鏡的視野位置進行移動的方式控制所述第1驅(qū)動部。

9.如權(quán)利要求7所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述焦點圖制作部基于遍及所述多條攝像線進行計算的所述對準焦點信息來制作所述焦點圖。

10.如權(quán)利要求8所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述焦點圖制作部基于遍及所述多條攝像線進行計算的所述對準焦點信息來制作所述焦點圖。

11.如權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的圖像取得裝置，其特征在于：

所述控制部以所述試樣上的規(guī)定部位的光學圖像在所述攝像元件的各個像素列上被曝光的方式使由所述第1驅(qū)動部得到的在所述物鏡的視野內(nèi)的所述試樣的規(guī)定部位的移動與所述攝像元件的滾動讀出相同步。