[發明專利]用于制備氯代多硅烷的方法和裝置

有效

• 申請號: 201480023110.8
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN105121516B
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: J.E.朗;H.勞萊德;E.米;I.穆薩萊姆
• 申請（專利權）人: 贏創德固賽有限公司
• 主分類號: C08G77/60
• 分類號: C08G77/60;C01B33/107
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 邵長準;石克虎

1.通過在不存在氫氣的情況下對包含至少一種通式I的單體氯代硅烷的氯代硅烷施以熱等離子體并將它們轉化成氯代多硅烷來制備氯代多硅烷的方法，

H_xSiCl_4-x (I)

其中x彼此獨立地選自0、1、2或3，

其中所述方法在包含具有兩個塔(2a、2b)的氣體放電反應器(1)的裝置(0)中進行，且提供在氣體放電反應器(1)上游的用于除去氯代多硅烷的具有塔入口(3a)的第一個塔(2a)和在氣體放電反應器(1)下游的用于除去低沸物的具有塔入口(4a)的第二個塔(2b)，并且

- 塔(2b)的塔出口(4b)具有用于冷凝低沸物的冷凝器(5)，和

- 冷凝器(5)具有再循環線路(6)，其將低沸物送入第一個塔(2a)或氣體放電反應器(1)。

2.根據權利要求1的方法，

其特征在于

所得氯代多硅烷是具有2至8個硅原子的全氯多硅烷。

3.根據權利要求1或2的方法，

其特征在于

分離出的氯代多硅烷是超高純六氯二硅烷、超高純八氯三硅烷、超高純十氯四硅烷或超高純十二氯五硅烷或包含至少兩種所述化合物的混合物。

4.根據權利要求1或2的方法，

其特征在于

分離出的氯代多硅烷是各自具有低于10 ppm的鈦含量的超高純六氯二硅烷、超高純八氯三硅烷、超高純十氯四硅烷或超高純十二氯五硅烷。

5.根據權利要求1或2的方法，

其特征在于

所用反應物是超高純四氯硅烷、超高純三氯硅烷和/或超高純二氯硅烷。

6.根據權利要求1的方法，

其特征在于

將式I的氯代硅烷，和任選與六氯二硅烷混合的氯代硅烷引入氣體放電反應器(1)或供入第一個塔(2a)。

7.根據權利要求1的方法，

其特征在于

(i) 經第二個塔(2b)離開氣體放電反應器的式I的氯代硅烷和六氯二硅烷在裝置(0)中使用冷凝器(5)冷凝和(ii) 經再循環線路(6)再循環到第一個塔(2a)，和(iii) 任選與六氯二硅烷混合的這種通式I的氯代硅烷再經過氣體放電反應器(1)，和(iv) 在第一個塔(2a)的塔出口(3b)獲得具有至少2個硅原子的氯代多硅烷。

8.根據權利要求1、2、6或7的方法，

其特征在于

(i) 經第二個塔(2b)離開氣體放電反應器的與六氯二硅烷混合的式I的氯代硅烷在裝置(0)中使用冷凝器(5)通過冷凝六氯二硅烷而與六氯二硅烷分離，(ii) 式I的氯代硅烷經再循環線路(6)再循環到第一個塔(2a)，和(iii) 這些氯代硅烷再經過氣體放電反應器(1)，和(iv) 在第一個塔(2a)的塔出口(3b)獲得氯代多硅烷。

9.根據權利要求1、2、6或7的方法，

其特征在于

在氣體放電反應器(1)中存在300至800 mbar_abs.的壓力。