[發明專利]彈性表面波裝置

有效

• 申請號: 201480021853.1
• 申請日: 2014-04-08
• 公開（公告）號: CN105122644A
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發明（設計）人: 津田基嗣
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/145
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 薛凱

1.一種彈性表面波裝置，具備：

基板；

形成于所述基板上且具有至少1個IDT電極的功能電極部；

與所述功能電極部連接且形成于所述基板上的布線電極；

設于所述布線電極的一部分與所述基板間的絕緣膜；

設于所述基板上且包圍所述功能電極部、和所述布線電極的至少一部分而設的支承構件；和

與所述支承構件一起形成讓所述功能電極部位于內部的中空部的外罩構件，

所述支承構件的厚度厚于所述絕緣膜的厚度，且所述絕緣膜和所述支承構件由同一材料構成。

2.根據權利要求1所述的彈性表面波裝置，其中，

所述布線電極包含第1布線電極和第2布線電極，

存在所述第1布線電極與所述第2布線電極立體交叉的立體交叉部，

在該立體交叉部，在所述第2布線電極的上方的至少一部分存在所述支承構件，

在所述立體交叉部，所述絕緣膜位于所述第2布線電極的下方，所述第1布線電極位于所述絕緣膜的下方。

3.根據權利要求2所述的彈性表面波裝置，其中，

所述立體交叉部設置在所述支承構件的內部。

4.根據權利要求1所述的彈性表面波裝置，其中，

俯視觀察所述基板，所述布線電極與所述絕緣膜重合的層疊部設置在所述支承構件的內部。

5.根據權利要求2或3所述的彈性表面波裝置，其中，

在設于所述支承構件的內部的所述立體交叉部，所述布線電極包含寬度細于該立體交叉部內部的剩下的布線電極部分的寬度的部分。

6.根據權利要求4所述的彈性表面波裝置，其中，

在設于所述支承構件的內部的所述層疊部，所述布線電極包含寬度細于該層疊部內部的剩下的布線電極部分的寬度的部分。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的彈性表面波裝置，其中，

所述絕緣膜以及所述支承構件由合成樹脂構成。

8.根據權利要求7所述的彈性表面波裝置，其中，

所述合成樹脂是光固化性聚酰亞胺的固化物。

9.根據權利要求7所述的彈性表面波裝置，其中，

所述合成樹脂是熱固化性聚酰亞胺的固化物。

10.根據權利要求1～9中任一項所述的彈性表面波裝置，其中，

所述IDT電極包含AlCu的外延膜。