[發明專利]用于生成由多個子圖像構成的目標體的合成圖像的方法有效

申請號：	201480021837.2	申請日：	2014-04-17
公開（公告）號：	CN105122113B	公開（公告）日：	2019-08-09
發明（設計）人：	F·?？怂?/a>	申請（專利權）人：	美國櫻花檢驗儀器株式會社
主分類號：	G02B21/00	分類號：	G02B21/00
代理公司：	北京市金杜律師事務所 11256	代理人：	蘇娟;尹景娟
地址：	美國加利***	國省代碼：	美國;US
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摘要：
搜索關鍵詞：	用于生成個子圖像構成目標合成方法
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【權利要求書】：

1.一種用于生成由多個子圖像(6)構成的目標體(8)的合成圖像(4)的方法，其中，捕獲所述目標體(8)的多個相鄰的子圖像(6)，并且通過圖像處理操作將所述子圖像(6)合并在一起，以形成連貫的合成圖像(4)，其中，使用由圖案形成裝置(44)生成的預定光學圖案(30、74)執行將所述子圖像(6)縫合在一起，以在圖像處理操作中形成合成圖像，其中，所述圖案形成裝置獨立于所述目標體，并且其中，所述多個子圖像彼此相鄰，其特征在于，(A)所述光學圖案通過入射波長生成，并通過不同于所述入射波長的發射波長發射并被捕獲，(B)所述光學圖案被捕獲在圖案圖像中的同時捕獲所述子圖像，并且所述子圖像不受所述光學圖案影響，以及(C)所述圖案圖像通過一個圖案單元在兩個圖案圖像中的定位確定子圖像相對于彼此的位置。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述目標體(8)是樣品(60)，其布置在目標體保持器(10)上，將該目標體保持器(10)設計為樣品臺，以及，所述方法為顯微鏡學方法，并且光學系統為具有至少放大系數為5的顯微鏡光學系統。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述圖案形成裝置(44)將所述光學圖案(30)作為輻射圖案投射在圖案載體上。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，以目標體圖像波長生成所述光學圖案(30)，以該目標體圖像波長，所述目標體的子圖像(6)被捕獲。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，除了所述子圖像(6)之外的所述圖案圖像(68)被捕獲；以及，所述圖案圖像相對于所述子圖像(6)布置在預定位置；以及，所述光學圖案(30)在所述圖案圖像(68)中可見。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述光學圖案(30)是熒光圖案。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述光學圖案(30)在布置于所述目標體(8)上的圖案載體上為可見，并且對于所述目標體圖像的波長為透明的。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述光學圖案是激光圖案。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述光學圖案是干擾圖案。

10.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述光學圖案被生成為在樣品件中的駐波。

11.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述光學圖案為斑點圖案。

12.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述目標體(8)在目標體圖像探測器(18)上成像，并且圖案圖像(68)與目標體的成像一起被捕獲，所述光學圖案(30)從所述成像被移除，并且所述目標體的子圖像(6)被捕獲。

13.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述光學圖案(30)布置在所述子圖像(6)的目標體平面之外。