[發明專利]光學模塊以及觀察裝置

有效

• 申請號: 201480020178.0
• 申請日: 2014-03-25
• 公開（公告）號: CN105122116B
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 井上卓;寺田浩敏
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28;G01N21/64;G02B5/04;G02B5/30;G02B21/18
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

1.一種光學模塊，其特征在于：

具備：

偏振光分束器，具有反射包含于入射光的s偏振光成分并透過p偏振光成分的光分支面；

第1偏振光元件，具有使偏振光面旋轉的非互易性的光學活性并且被配置于所述入射光中的透過所述光分支面的第1偏振光成分的光路上；

第1反射型空間光調制器，調制通過所述第1偏振光元件的所述第1偏振光成分并生成第1調制光并且向所述第1偏振光元件反射所述第1調制光；

第2偏振光元件，具有使偏振光面旋轉的非互易性的光學活性并且被配置于所述入射光中的在所述光分支面上被反射的第2偏振光成分的光路上；以及

第2反射型空間光調制器，調制通過所述第2偏振光元件的所述第2偏振光成分并生成第2調制光并且向所述第2偏振光元件反射所述第2調制光，

在再次通過所述第1偏振光元件之后在所述光分支面上被反射的所述第1調制光和在再次通過所述第2偏振光元件之后透過所述光分支面的所述第2調制光被互相合波并從所述偏振光分束器被輸出。

2.如權利要求1所述的光學模塊，其特征在于：

所述第1以及第2反射型空間光調制器為液晶型，

所述第1反射型空間光調制器的液晶的取向方向與所述第2反射型空間光調制器的液晶的取向方向互相垂直。

3.如權利要求1或者2所述的光學模塊，其特征在于：

還具備具有互易性的光學活性并且配置于所述偏振光分束器與所述第1反射型空間光調制器之間的光路上或者所述偏振光分束器與所述第2反射型空間光調制器之間的光路上的偏振光元件。

4.一種觀察裝置，其特征在于：

具備：

權利要求1～3中的任意一項所述的光學模塊；

對來自觀察對象物的被觀察光進行聚光并且作為所述入射光向所述光學模塊入射的聚光光學系統；

對從所述光學模塊輸出的光進行成像的成像光學系統；以及

檢測由所述成像光學系統成像的光的光檢測器。

5.如權利要求4所述的觀察裝置，其特征在于：

在所述成像光學系統與所述光檢測器之間的光路上配置有針孔。

6.一種光學模塊，其特征在于：

具備：

第1偏振光分束器，具有反射包含于入射光的s偏振光成分并透過p偏振光成分的光分支面；

第1偏振光元件，具有使偏振光面旋轉的非互易性的光學活性并且被配置于所述入射光中的在所述第1偏振光分束器的所述光分支面上被反射的第1偏振光成分的光路上；

第1反射型空間光調制器，調制通過所述第1偏振光元件的所述第1偏振光成分并生成第1調制光并且向所述第1偏振光元件反射所述第1調制光；

第2偏振光分束器，具有反射s偏振光成分并透過p偏振光成分的光分支面并且在所述光分支面接受所述入射光中的透過所述第1偏振光分束器的所述光分支面的第2偏振光成分；

第2偏振光元件，具有使偏振光面旋轉的非互易性的光學活性并且被配置于在所述第2偏振光分束器的所述光分支面上經透過以及反射中的一方的所述第2偏振光成分的光路上；以及

第2反射型空間光調制器，調制通過所述第2偏振光元件的所述第2偏振光成分并生成第2調制光并且向所述第2偏振光元件反射所述第2調制光，

所述第1調制光在再次通過所述第1偏振光元件之后透過所述第1偏振光分束器的所述光分支面并被輸出，所述第2調制光在再次通過所述第2偏振光元件之后在所述第2偏振光分束器的所述光分支面上經透過以及反射中的另一方并被輸出。

7.如權利要求6所述的光學模塊，其特征在于：

還具備設置于所述第1偏振光分束器與所述第1反射型空間光調制器之間的光路上的光路長調整元件。

8.如權利要求6或者7所述的光學模塊，其特征在于：

還具備具有互易性的光學活性并且設置于所述第1偏振光分束器與所述第2偏振光分束器之間的光路上的偏振光元件。

9.一種觀察裝置，其特征在于：

具備：

權利要求6～8中的任意一項所述的光學模塊；

對來自觀察對象物的被觀察光進行聚光并且作為所述入射光向所述光學模塊入射的聚光光學系統；

對從所述光學模塊輸出的光進行成像的成像光學系統；以及

檢測由所述成像光學系統成像的光的光檢測器。

10.如權利要求9所述的觀察裝置，其特征在于：

在所述成像光學系統與所述光檢測器之間的光路上配置有針孔。