[發明專利]用于清潔真空泵的方法

有效

• 申請號: 201480019786.X
• 申請日: 2014-03-19
• 公開（公告）號: CN105074222A
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 巴西利奧·迪尼羅;斯特凡·洪德特馬克;亞歷山德拉·瓦爾恰克
• 申請（專利權）人: 厄利孔萊博爾德真空技術有限責任公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/70
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;丁永凡

技術領域

本發明涉及一種用于清潔真空泵的、尤其霍爾維克泵的方法，其中霍爾維克泵能夠構成為霍爾維克泵級。

背景技術

在具有污物的氣體的泵中能夠造成在真空泵的轉子元件上的沉積物。這能夠造成泵的損壞直至造成泵停止工作。就此而言需要設有耗費的過濾系統，以便能夠使用真空泵、尤其用于泵出這種加載有污物的氣體的高真空泵。對于真空泵特別嚴重的是，能夠附著在轉子元件上的污物如灰塵的存在。

發明內容

本發明的目的是，提供一種用于清潔真空泵、尤其霍爾維克泵的方法，借助于所述方法能夠以簡單的方式實現轉子元件的清潔。

根據本發明，所述目的的解決方案通過權利要求1的特征來實現。

依照根據本發明的方法清潔的真空泵具有轉子軸，所述轉子軸承載至少一個轉子元件。轉子元件能夠是霍爾維克泵的管狀的轉子元件或是渦輪分子泵的轉子盤。通常，由泵殼體承載的靜止的定子元件與轉子元件共同作用。霍爾維克泵級在此是螺旋線狀的通道，所述通道包圍管狀的轉子元件。渦輪分子泵是定子盤，所述定子盤設置在轉子盤之間。轉子軸經由軸承元件能轉動地支承在泵殼體中。此外，與轉子軸連接有驅動裝置如電動機。根據本發明，設有電磁體，所述電磁體作用到轉子軸上。電磁體與控制裝置連接。為了產生振動，通過控制裝置實現磁場改變；在此，電磁體例如能夠直接作用到至少部分金屬的轉子軸上或作用到設置在轉子軸上的永磁體上。

通過尤其引起短時間的磁場改變的控制裝置，轉子軸進而至少一個由轉子軸承載的轉子元件能夠振動。通過振動，在轉子元件上存在的沉積物脫落。

優選地，在大約10-1000Hz的時間間隔中通過控制裝置實現磁場改變。在此，磁場改變優選是周期性的。此外優選的是，控制裝置作用到多個電磁體上。由此可能的是，以時間上短的間隔，力沿不同方向作用到轉子軸上進而作用到至少一個轉子元件上。尤其是相反作用的力，使得能實現具有高的振幅和盡可能短的加速時間的振動。

在此，由至少一個電磁體產生的力優選基本上平移地和軸向于轉子軸作用，使得能夠以非常有效的方式引起轉子軸的進而由轉子軸承載的至少一個轉子元件的振動。

此外優選的是，在轉子軸靜止期間，即當不由電動機使轉子軸處于轉動中時通過振動來執行清潔步驟。必要時，附加地，緩慢的轉動有利于輔助清潔過程。

特別優選的是，不設有分開的電磁體，而是使用是磁軸承的部件的電磁體來執行方法。尤其，以如下方式頻繁地支承快速轉動的轉子軸：兩個軸承元件構成為磁軸承。在此通常涉及設置在抽吸側的軸承。由此，在本發明的一個特別優選的實施方式中不需要設有一個或多個附加的電磁體。更確切地說，能夠相應地操控至少一個設置在磁軸承中的電磁體來產生振動。如果轉子軸由兩個磁軸承承載，那么能夠操控兩個磁軸承的電磁體，由此能夠稍微增強振動。

因為真空泵通常具有內部的控制裝置或與外部的控制裝置連接，所以此外優選的是，實現至少一個電磁體的根據本發明的操控以通過所述控制裝置產生振動。

附圖說明

在下文中，參照附圖根據優選的實施方式詳細闡述本發明。

附圖示出：

圖1示出真空泵的簡化的示意圖；以及

圖2示出用于清潔真空泵的振動程序的圖表。

具體實施方式

示出的真空泵是具有霍爾維克泵級的渦輪分子泵。相應地，渦輪分子泵具有在必要時多件式的泵殼體10中支承的轉子軸12。轉子軸在抽吸側上經由球軸承14支承并且在壓力側上經由電磁軸承16支承。為了構成分子級18，轉子軸12承載具有多個轉子盤20的轉子元件。轉子盤20與設置在轉子盤20之間的定子盤22共同作用。定子盤22靜止地設置在殼體10中。為了構成霍爾維克泵級24，與轉子軸10連接的盤狀的元件26與管缸筒28連接。管缸筒28由設置在殼體壁中或殼體10的專門的構件中的螺旋線狀的溝槽30包圍。由此，借助于示出的渦輪分子泵，能夠將氣體通過入口32沿箭頭34的方向抽吸并且從出口36中排出。在泵出污染的氣體時，尤其在霍爾維克泵級24的管缸筒式的轉子元件28上能夠出現沉積物。根據本發明，為了清潔轉子元件28，使轉子軸12振動，使得與轉子軸固定地連接的轉子元件28振動。

在根據本發明的方法的特別優選的實施方式中，清潔通過下述方式進行：經由控制裝置40操控磁軸承16的至少一個電磁體38。通過尤其短時間地改變由電磁體38產生的磁力實現轉子軸沿基本上徑向方向42的運動。

在圖2中示出的圖表中示出用于清潔真空泵的振動程序，其中示例是磁力支承的渦輪分子泵并且進行具有短的加速時間和高的振幅的沿平移和軸向方向的周期性的磁場改變。在圖表中，在時間上記錄振幅，其中實線示出軸向運動以及虛線示出平移運動。