[發明專利]激光加工裝置及激光加工方法

有效

• 申請號: 201480019047.0
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號: CN105209219B
• 公開（公告）日: 2017-05-17
• 發明（設計）人: 河口大祐;廣瀬翼;荒木佳祐
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: B23K26/53
• 分類號: B23K26/53;B23K26/06;B28D5/00;B23K26/073;B23K26/40;C03B33/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

1.一種激光加工裝置，其特征在于，

是通過將激光聚光于加工對象物從而沿著激光照射方向將多列的改質區域在所述加工對象物的內部沿著切斷預定線形成的激光加工裝置，

具備：

將所述激光射出的激光光源；

對由所述激光光源射出的所述激光進行調制的空間光調制器；及

將通過所述空間光調制器調制后的所述激光聚光于所述加工對象物的聚光光學系統，

多列的所述改質區域至少包含：

位于激光入射面側的入射面側改質區域；

位于所述激光入射面的相反面側的相反面側改質區域；及

位于所述入射面側改質區域與所述相反面側改質區域之間的中間改質區域，

所述空間光調制器，

在形成所述中間改質區域的情況下，通過將軸棱錐透鏡圖案作為調制圖案來顯示，從而以在沿著激光照射方向接近排列的多個位置形成聚光點的方式將所述激光聚光，并且

在形成所述入射面側改質區域及所述相反面側改質區域的情況下，不將所述軸棱錐透鏡圖案作為調制圖案來顯示。

2.如權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述激光加工裝置是沿著所述切斷預定線在所述加工對象物的內部形成多個改質點，并由多個所述改質點形成所述改質區域的激光加工裝置，

所述空間光調制器在形成所述中間改質區域的情況下，在沿著所述激光照射方向接近排列的所述多個位置的各個位置上形成改質光點，

多個所述改質光點在所述激光照射方向上構成長條形狀的所述改質點。

3.如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，

在所述空間光調制器的顯示部中，

所述軸棱錐透鏡圖案具有相對于入射的所述激光位于中心的圓區域、及被劃設于所述圓區域的周圍并與該圓區域同心的多個圓環區域，

在所述圓區域及多個所述圓環區域中，設定成隨著從徑向外側朝內側行進明亮度逐漸變亮。

4.一種激光加工方法，其特征在于，

是將從激光光源射出的所述激光通過空間光調制器調制并將由所述空間光調制器調制后的所述激光聚光于加工對象物，從而沿著激光照射方向將多列的改質區域在所述加工對象物的內部沿著切斷預定線形成的激光加工方法，

所述激光加工方法至少具備：

形成位于激光入射面側的入射面側改質區域的工序；

形成位于所述激光入射面的相反面側的相反面側改質區域的工序；及

形成位于所述入射面側改質區域與所述相反面側改質區域之間的中間改質區域的工序，

在形成所述中間改質區域的工序中，通過將軸棱錐透鏡圖案作為調制圖案顯示于所述空間光調制器，從而以在沿著激光照射方向接近排列的多個位置形成聚光點的方式將所述激光聚光，

在形成所述入射面側改質區域的工序及形成所述相反面側改質區域的工序中，不將軸棱錐透鏡圖案作為調制圖案顯示于所述空間光調制器。