[發明專利]用于測量周圍介質壓力的電容式壓力測量元件

有效

• 申請號: 201480016620.2
• 申請日: 2014-03-25
• 公開（公告）號: CN105074407B
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 約瑟夫·費倫巴赫;約恩·雅各布
• 申請（專利權）人: VEGA格里沙貝兩合公司
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00;G01L19/00;G01L19/04
• 代理公司: 上海和躍知識產權代理事務所(普通合伙) 31239
• 代理人: 胡艷

1.用于測量周圍介質壓力的電容式壓力測量元件(1)，包括：

彈性測量膜片(2)，其第一側(2a)與介質至少部分接觸，而其背對介質的第二側(2b)包括測量電極(7)和用來測量溫度的由具有溫敏電阻的材料制成的電阻元件；以及

基體(3)，其設置成與所述測量膜片(2)的第二側(2b)相對，具有對電極(8)，所述對電極(8)與所述測量電極(7)構成測量電容，

其特征在于所述電阻元件形成為所述測量膜片(2)第二側(2b)和所述測量電極(7)之間的電阻層(4)，其中所述電阻層與所述測量電極通過絕緣層彼此分開，所述測量膜片(2)和所述基體(3)在邊緣處通過間隔件(3a)分開并且相互連接，所述電阻層(4)的連接引線(4a、4b)在邊緣處經過所述間隔件(3a)和所述基體(3)延展到電子單元，并且所述測量電極(7)的直徑被設計成小于所述電阻層(4)的直徑，所述測量電極(7)和所述電阻層(4)兩者都突出進入到所述間隔件(3a)的區域。

2.用于測量周圍介質壓力的電容式壓力測量元件(1)，包括：

彈性測量膜片(2)，其第一側(2a)與介質至少部分接觸，而其背對介質的第二側(2b)包括測量電極(7)和用來測量溫度的由具有溫敏電阻的材料制成的電阻元件；以及

基體(3)，其設置成與所述測量膜片(2)的第二側(2b)相對，具有對電極(8)，所述對電極(8)與所述測量電極(7)構成測量電容，

其特征在于所述電阻元件形成為所述測量膜片(2)第二側(2b)和所述測量電極(7)之間的電阻層(4)，其中所述電阻層與所述測量電極通過絕緣層彼此分開，所述測量膜片(2)和所述基體(3)在邊緣處通過間隔件(3a)分開并且相互連接，所述電阻層(4)的連接引線(4a、4b)在邊緣處經過所述間隔件(3a)和所述基體(3)延展到電子單元，并且所述電阻層(4)和所述測量電極(7)設計成兩者基本全等，所述測量電極(7)和所述電阻層(4)兩者都突出進入到所述間隔件(3a)的區域。

3.如權利要求1或2所述的壓力測量元件(1)，其特征在于所述電阻層(4)被結構化。

4.如權利要求3所述的壓力測量元件(1)，其特征在于所述電阻層(4)結構化為具有蜿蜒的形狀。

5.如權利要求1或2所述的壓力測量元件(1)，其特征在于所述測量膜片(2)和/或所述基體(3)由陶瓷材料制成。

6.具有任一前述權利要求所述壓力測量元件(1)的壓力變送器。