[發明專利]錐度控制的射束角協調及工件運動

在審

• 申請號: 201480015595.6
• 申請日: 2014-03-11
• 公開（公告）號: CN105163897A
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 張海濱
• 申請（專利權）人: 伊雷克托科學工業股份有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/046;B23K26/08
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

1.一種用于雷射加工工件中的特征部的方法，其特征在于，包括：

提供工件；

沿著傳播通過在該工件上具有可利用視域的非遠心透鏡的射束軸產生激光脈沖射束，其中該視域具有周界；

在沿著切割路徑的切割方向上造成該射束軸與該工件之間的相對運動；

通過該非遠心透鏡將該射束軸接近該視域的該周界導引至該工件上以用該射束沿著切割路徑照射該工件上的第一區域，其中該射束軸以第一非零加工角入射在該工件上且沿著相對于平分該工件的深度軸的第一非零方位角方向照射在該工件上；及

沿著該切割路徑移除該第一區域內該工件的材料以形成包括第一側壁的切口，該第一側壁具有受到該第一入射角及該第一方位角方向影響的第一錐度特性。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，進一步包括：

通過該非遠心透鏡將該射束軸接近該視域的該周界繼續導引至該工件上以在沿著該切割路徑延伸該切口時維持該第一側壁的該第一錐度特性。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，其中該切割路徑具有曲率，該方法進一步包括：

改變該射束軸相對于平分該工件的該深度軸的該第一方位角方向來調整該切割路徑的該曲率。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該切割路徑具有曲率，且其中該第一區域沿著該切割路徑在第一方向上形成第一區段，該方法進一步包括：

改變該射束軸相對于平分該工件的該深度軸的該第一方位角方向以造成該射束軸通過該非遠心透鏡接近該視域的該周界被導引至該工件上而用該射束沿著該切割路徑照射該工件的第二區域，其中該射束軸以第二非零加工角入射在該工件上且沿著相對于平分該工件的該深度軸的第二非零方位角方向照射在該工件上，其中該第二非零方位角方向不同于該第一非零方位角方向，且其中該第二區域在與該第一方向背離的第二方向上沿著該切割路徑形成第二區段；及

沿著該切割路徑移除該第二區域內該工件的材料以在該第二方向上延伸該切口，同時維持受到該第二入射角及該第二方位角方向影響的該第一側壁的該第一錐度特性。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸的該第一加工角是相對于該非遠心透鏡的透鏡軸以非零射束軸角定向。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸的該第一加工角是相對于該非遠心透鏡的軸平面以非零且非垂直射束軸角定向。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸經導引以在該可利用視域的該周界的5mm內照射該工件。

8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸經導引以在該可利用視域的該周界的2mm內照射該工件。

9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸經導引以在該可利用視域的該周界的500微米內照射該工件。

10.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸經導引以在該可利用視域的該周界的100微米內照射該工件。

11.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸經導引以在該可利用視域的該周界的25微米內照射該工件。

12.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸的該第一加工角大于1度。

13.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸的該第一加工角大于5度。

14.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸的該第一加工角小于20度。

15.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該射束軸的該第一加工角小于10度。

16.如權利要求4所述的方法，其特征在于，其中該第一加工角及該第二加工角相同。

17.如權利要求4所述的方法，其特征在于，其中該第一加工角與該第二加工角不同。

18.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該第一方位角方向相對于該切割方向的角值大于或等于20度且小于160度。

19.如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中該第一方位角方向相對于該切割方向的角值大于或等于45度且小于155度。