[發明專利]熱耦合的石英圓頂熱沉

有效

• 申請號: 201480011009.0
• 申請日: 2014-02-11
• 公開（公告）號: CN105009260B
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 約瑟夫·M·拉內什;穆罕默德·圖魯爾·薩米爾;保羅·布里爾哈特
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/324
• 分類號: H01L21/324;H01L21/02
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種處理腔室，所述處理腔室包括：

腔室主體，所述腔室主體包括光學透明窗；

燈箱，所述燈箱具有上表面且設置成與所述光學透明窗鄰近，所述燈箱具有形成在所述燈箱的所述上表面內的多個開口，所述光學透明窗與所述燈箱之間有間隙，其中所述燈箱的所述上表面包括鄰近所述間隙的紊流誘發特征，所述紊流誘發特征包括凸塊或脊；

多盞燈，所述多盞燈設置在所述燈箱中，并且所述多盞燈經定位以引導輻射能通過在所述燈箱的所述上表面內形成的多個開口；

一個或多個冷卻通道，所述一個或多個冷卻通道設置在所述燈箱中，所述一個或多個冷卻通道界定在所述多盞燈與所述燈箱的所述上表面之間，所述燈箱的的所述上表面設置在所述一個或多個冷卻通道與所述間隙之間；以及

溫度控制單元，所述溫度控制單元適于提供冷卻流體至所述光學透明窗與所述燈箱之間的所述間隙。

2.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述燈箱包含銅或鋁。

3.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述溫度控制單元包括熱交換器。

4.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述溫度控制單元包括強制送入單元。

5.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述光學透明窗是下圓頂。

6.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述光學透明窗包含石英。

7.一種冷卻方法，所述方法包括以下步驟：

使得在介于光學透明窗與燈箱之間的空間內的冷卻流體循環，所述燈箱具有形成在所述燈箱中的至少一個冷卻通道，其中所述燈箱的表面包括一個或多個紊流誘發特征，以引起所述冷卻流體的紊流，且其中所述冷卻流體將所述光學透明窗與所述至少一個冷卻通道熱耦合，其中所述箱體的所述表面設置成與所述光學透明窗鄰近，且所述燈箱具有在所述燈箱的所述表面內形成的多個開口。

8.如權利要求7所述的方法，其中所述冷卻流體包括氮氣、氦氣、氫氣或大氣中的空氣上述各項中的一種或多種。

9.如權利要求7所述的方法，其中：

所述冷卻流體是液體；

介于所述光學透明窗與所述燈箱之間的所述空間的尺寸受到選擇以產生所述冷卻流體的局部化的再循環；以及

強制送入有助于介于所述光學透明窗與所述燈箱之間的所述冷卻流體的流動。

10.如權利要求7所述的方法，進一步包括以下步驟：使所述冷卻流體循環通過熱交換器。