[發明專利]流體控制裝置以及流體控制裝置上的熱傳感器設置結構

有效

• 申請號: 201480009481.0
• 申請日: 2014-02-17
• 公開（公告）號: CN105102868B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 橫田淳;吉田貴洋;阮青松;松田隆博
• 申請（專利權）人: 株式會社富士金
• 主分類號: F16K27/00
• 分類號: F16K27/00;G05D7/06
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司11002
• 代理人: 謝順星,張晶

技術領域

本發明涉及用于半導體制造裝置等的流體控制裝置以及流體控制裝置上的熱傳感器設置結構，尤其涉及多個流體控制器集成化而形成的流體控制裝置及這種流體控制裝置上的熱傳感器設置結構。

背景技術

在半導體制造裝置所使用的流體控制裝置中，通過將多個流體控制器相鄰配置并安裝在支承部件上的管路在基體部件上設置成并列狀，不用借助于管子或接頭就構成流體控制裝置的集成化正在發展，并且，有時也設置加熱裝置(專利文獻1)。

在這種流體控制裝置中需要進行溫度管理，為此，作為優選的傳感器有熱傳感器。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利公開2006-349075號公報

發明內容

(一)要解決的技術問題

根據集成化的流體控制裝置，由于相鄰配置有多個流體控制器，因此沒有用于設置熱傳感器的充足的空間，存在設置困難的問題。

本發明的目的在于提供一種流體控制裝置以及流體控制裝置上的熱傳感器設置結構，其能夠有效利用流體控制裝置上的空間，通過簡單的施工來設置用于溫度管理的熱傳感器。

(二)技術方案

本發明的流體控制裝置具備彼此相鄰的第1流體控制器及第2流體控制器，以及測定在第1流體控制器的流體通路中流動的流體的溫度的熱傳感器，其特征在于，還具備安裝在第1流體控制器及第2流體控制器中任意一個上，支承熱傳感器的支承部件。

流體控制裝置通常做成多個管路配置成并列狀，所述管路由呈串聯狀相鄰的第1流體控制器及第2流體控制器，以及呈串聯狀配置的第3、第4等多個流體控制器形成。

熱傳感器例如是利用了由不同種金屬間的溫度梯度產生的溫差電動勢(塞貝克效應)的傳感器。熱傳感器有時設置在流體控制裝置的所有管路上，有時設置在一部分管路上。

支承熱傳感器的支承部件安裝在第1流體控制器及第2流體控制器中任意一個上。在熱傳感器安裝在第1流體控制器上的情況下，支承部件可以利用第2流體控制器進行安裝，但在安裝在第1流體控制器上較容易的情況下，支承部件也可以利用第1流體控制器進行安裝。由此，能夠有效利用流體控制裝置上的空間，并且通過簡單的施工來設置熱傳感器。

利用熱傳感器測定的第1流體控制器例如為流量控制器，但并不限定于此，開閉閥、調節器，過濾器、通路塊等可以適當作為利用熱傳感器測定的第1流體控制器。并且，與該利用熱傳感器測定的第1流體控制器相鄰的第2流體控制器例如為開閉閥，但流量控制器、調節器、過濾器，通路塊等可以適當作為與第1流體控制器相鄰的第2流體控制器。

優選地，第1流體控制器用來控制流量(質量流量控制器或流體可變式流量控制裝置等)，第2流體控制器是進行第1流體控制器的流體通路的斷流開放的開閉閥。

優選地，第2流體控制器(開閉閥)具有內置開閉機構的外殼，支承部件可從外殼上方裝卸地安裝在外殼上。

控制流量的流體控制器(即，質量流量控制器、流體可變式流量控制裝置等)是在一個管路上配置一個的主要的流體控制器，必須配置與之相鄰的開閉閥。因此，通過測定在控制流量的流體控制器中流動的流體的溫度，同時利用開閉閥設置熱傳感器的支承部件，即使在構成一個管路的流體控制器的數量或種類發生變化的情況下，也可以不改變熱傳感器的設置結構。

優選地，第1流體控制器(即，質量流量控制器、流體可變式流量控制裝置等)具有漏泄口，熱傳感器的檢測端部插入該漏泄口。

漏泄口在進行有無漏泄的測試時使用，通過利用該漏泄口，不需要進行追加的加工，能夠在接近流體的位置測定流體溫度，能夠正確測定流體溫度。

熱傳感器只要能夠將其檢測端部插入漏泄口來計測溫度即可，可以使用各種形式的熱傳感器。

優選地，支承部件由環狀主體和一對突出部構成，所述環狀主體在圓周方向的一處設置有狹縫，所述一對突出部使設置在主體上的狹縫向徑向外側延長地與主體一體設置，主體內周面是與外殼頂壁的外周面對應的形狀。

這樣，能夠容易地進行支承部件向流體控制器的安裝。

優選地，在一個突出部上設置有螺釘插通孔，該螺釘插通孔用于從與另一個突出部對置的面的相反側的面插通支承部件用螺釘，在另一個突出部上以在與螺釘插通孔相同的方向上延伸的方式設置有與支承部件用螺釘擰合的內螺紋部。

這樣，通過緊固支承部件用螺釘，狹縫的寬度變窄，支承部件固定在流體控制器上，因此能夠容易地進行支承部件向流體控制器的安裝。