[發(fā)明專利]OLED堆疊膜的質(zhì)量評估的系統(tǒng)、設(shè)備和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480009276.4
• 申請日: 2014-02-13
• 公開（公告）號: CN105900418B
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 克里斯托弗·科卡
• 申請（專利權(quán)）人: 卡帝瓦公司
• 主分類號: H04N9/64
• 分類號: H04N9/64;G02B5/20;G06T1/20
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 董均華,鄧雪萌

本公開要求第一發(fā)明人克里斯托弗可可于2013年2月18日提交的美國臨時專利申請No.61/766,064的“Systems and Methods for the Detection of Defective EML Films”的優(yōu)先權(quán)，該在先專利申請通過引用并入在此。

技術(shù)領(lǐng)域

本教導(dǎo)涉及用于有機發(fā)光二極管(“OLED”)器件的制造期間像素井結(jié)構(gòu)中形成的各種膜的質(zhì)量評估的系統(tǒng)、器件和方法。

背景技術(shù)

OLED器件技術(shù)潛力的興趣很大程度上已經(jīng)被具有高色純度和高對比度并且超薄和節(jié)能的平面面板的演示所驅(qū)動。另外，各種襯底材料，包括柔性聚合物材料，可以用在OLED器件的制作中。OLED器件可以通過使用工業(yè)打印系統(tǒng)將各種有機物和其它薄膜打印到襯底上來制造。在這種處理中幾乎可以使用任何期望尺寸的襯底，從為用作手機顯示屏所定尺寸的襯底到為用作非常大電視(“TV”)屏幕所定尺寸的襯底。為了提供兩個非限制性示例，薄膜的噴墨打印可以用于7.5代襯底，具有大約195厘米x 225厘米的維度，然后這些襯底每個襯底被切割為8個42"或者6個47"的平面面板，以及對于8.5代襯底，具有大約220x250厘米的維度，然后這些襯底每個襯底被切割為6個55"或者8個46"平面面板。

OLED器件典型地具有組成顯示器的大量像素。在彩色顯示器中，每個像素典型地具有三個分開的色彩生成元件。這些元件的每個典型地輪流使用“井”在噴墨打印處理期間接收一個或多個薄膜層。如此，OLED器件的每個像素典型地與對應(yīng)于各自像素色彩的三個井關(guān)聯(lián)。用于每個色彩部件(即，與每個井關(guān)聯(lián)的)的層的裝配得到“OLED堆疊”。每個OLED堆疊可以包括6-7個膜層。在制造期間，期望均勻地沉積這些層的每一個。

可以看出，高清晰度平面面板顯示器可以含有超過兩百萬像素，像素密度在大約300ppi至大約450ppi之間。明顯地，考慮到各種OLED器件制造期間在襯底上必須得到數(shù)量之多的功能像素，要求高程度的制造精確度。在得到各種層的處理中，可以發(fā)生膜層之間或者內(nèi)部的各種不連續(xù)性，其可以導(dǎo)致不按照設(shè)計運行的或者另行被識別為有缺陷的像素。

因此，在可以用于及時和系統(tǒng)地在OLED器件制造期間評估襯底上形成的薄膜的質(zhì)量的系統(tǒng)、器件和方法領(lǐng)域中是有需求的。

附圖說明

以下將參照附圖描述本發(fā)明的示意性實施例。

圖1A是根據(jù)本教導(dǎo)的顯示面板內(nèi)示例性像素布置的圖示。圖1B是根據(jù)本教導(dǎo)的OLED堆疊的實施例的示意圖。

圖2A是根據(jù)本教導(dǎo)描述示意性像素井的截面圖。圖2B是根據(jù)本教導(dǎo)描述與單一像素關(guān)聯(lián)的結(jié)構(gòu)的頂視圖。

圖4根據(jù)示意性實施例描述圖3的面板檢查系統(tǒng)的數(shù)據(jù)收集裝置的框圖。

圖5根據(jù)示意性實施例描述具有圖4的數(shù)據(jù)收集組件的打印系統(tǒng)。

圖6是可以容納諸如圖5的打印系統(tǒng)的各種實施例的打印系統(tǒng)的氣密系統(tǒng)的示意性截面圖。

圖7A至圖7D根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例描述示出由數(shù)據(jù)收集裝置的圖像處理應(yīng)用執(zhí)行的示例操作的各種流程圖。

圖8A至圖8F根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例描述用于示出圖像處理應(yīng)用的操作的一個或多個像素井的圖示。

圖9示出梯度強度的柱狀圖，對應(yīng)于像素井內(nèi)沉積層的表示，見圖9的左側(cè)。

圖10示出梯度強度的柱狀圖，對應(yīng)于像素井內(nèi)沉積層的表示，見圖10的左側(cè)。

圖11根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例描述示出由數(shù)據(jù)收集裝置的圖像處理應(yīng)用執(zhí)行的示例操作的流程圖。

圖12根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例描述示出由數(shù)據(jù)收集裝置的圖像處理應(yīng)用執(zhí)行的示例操作的流程圖。

具體實施方式