[發明專利]噴墨涂布用感光性樹脂組合物、熱處理物及其制造方法、樹脂圖案制造方法、液晶顯示裝置、有機EL顯示裝置、觸摸屏及其制造方法、以及觸摸屏顯示裝置

在審

• 申請號: 201480008348.3
• 申請日: 2014-02-10
• 公開（公告）號: CN104981736A
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發明（設計）人: 山下史繪;藤本進二
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/039;G03F7/16;H01L21/027
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種噴墨涂布用感光性樹脂組合物，其特征在于：包括

(成分A)無機粒子、

(成分B)溶劑、

(成分C)含有具有酸基由酸分解性基保護的基的構成單元的聚合物、以及

(成分D)光酸產生劑，且

所述成分B含有沸點為177℃以上、227℃以下，且無機性值/有機性值為0.50以上、1.00以下的非醇系溶劑。

2.根據權利要求1所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物，其中所述非醇系溶劑為選自由酰化亞烷基二醇單烷基醚、酰化二亞烷基二醇單烷基醚、二亞烷基二醇二烷基醚、及三亞烷基二醇二烷基醚所組成的群組中的至少一種溶劑。

3.根據權利要求1或2所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物，其中所述成分A為金屬氧化物粒子。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物，其中所述成分A為氧化鈦粒子或氧化鋯粒子。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物，其還包括(成分E)分散劑。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物，其還包括(成分F)熱交聯劑。

7.一種熱處理物的制造方法，其特征在于：至少包括步驟(a)～步驟(c)，

(a)涂布步驟，利用噴墨涂布方式將根據權利要求1至6中任一項所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物涂布于基板上；

(b)溶劑去除步驟，自所涂布的樹脂組合物中去除溶劑；以及

(c)熱處理步驟，對去除了溶劑的樹脂組合物進行熱處理。

8.一種樹脂圖案制造方法，其特征在于：至少包括步驟(1)～步驟(5)，

(1)涂布步驟，利用噴墨涂布方式將根據權利要求1至6中任一項所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物涂布于基板上；

(2)溶劑去除步驟，自所涂布的樹脂組合物中去除溶劑；

(3)曝光步驟，利用光化射線將去除了溶劑的樹脂組合物曝光成圖案狀；

(4)顯影步驟，利用水性顯影液對經曝光的樹脂組合物進行顯影；以及

(5)熱處理步驟，對經顯影的樹脂組合物進行熱處理。

9.一種熱處理物，其是由根據權利要求7所述的熱處理物的制造方法所獲得。

10.一種熱處理物，其是對根據權利要求1至6中任一項所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物進行熱處理而形成。

11.根據權利要求10所述的熱處理物，其為層間絕緣膜。

12.一種液晶顯示裝置，其包括根據權利要求10或11所述的熱處理物。

13.一種有機電致發光顯示裝置，其包括根據權利要求10或11所述的熱處理物。

14.一種觸摸屏的制造方法，其是具有透明基板、氧化銦錫電極及絕緣層的觸摸屏的制造方法，包括如下步驟：

以與所述氧化銦錫電極接觸的方式，利用噴墨涂布方式涂布根據權利要求1至6中任一項所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物的步驟；

在所述樹脂組合物上載置具有規定形狀的開口圖案的掩模、且進行活性能量線照射來進行曝光的步驟；

對曝光后的樹脂組合物進行顯影的步驟；以及

對顯影后的樹脂組合物進行加熱來制造絕緣層的步驟。

15.一種觸摸屏，其絕緣層的全部或一部分包含根據權利要求1至6中任一項所述的噴墨涂布用感光性樹脂組合物的熱處理物。

16.一種觸摸屏顯示裝置，其包括根據權利要求10或11所述的熱處理物、或者根據權利要求15所述的觸摸屏。