[發明專利]布線結構體、制造布線結構體的方法、液滴噴射頭以及液滴噴射設備

有效

• 申請號: 201480008068.2
• 申請日: 2014-02-24
• 公開（公告）號: CN104981352B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發明（設計）人: 依田剛
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/16
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 田喜慶,梁韜

技術領域

本發明涉及布線結構體、制造布線結構體的方法、液滴噴射頭以及液滴噴射設備。

背景技術

包括噴射液滴的液滴噴射頭的液滴噴射設備用于例如圖像形成或微型裝置的布線的制造。

例如，壓電驅動液滴噴射頭包括：儲液器，其儲存墨水；多個壓力生成室，其與儲液器連通；多個噴嘴，其分別與所述多個壓力生成室連通；多個壓電部件，其分別改變在所述多個壓力生成室內的壓力；以及驅動器IC，其驅動所述多個壓電部件。

在此液滴噴射頭中，通常，如PTL?1中公開那樣，壓電部件以及形成有儲液器的儲液器形成基板(布線基板)接合至壓力生成室形成在其上的流道形成基板(基礎基板)的一個表面。驅動器IC接合至儲液器形成基板的與流路形成基板相反的表面并且通過設置在儲液器形成基板上的布線電連接至壓電部件。

由于儲液器形成基板的厚度而在驅動器IC與壓電部件之間出現臺階，并且需要通過該臺階電連接驅動器IC和壓電部件。

因此，在PTL?1中描述的液滴噴射頭中，儲液器形成基板的側面是傾斜表面，并且在傾斜表面上形成電連接驅動器IC和壓電部件的布線。

引用列表

專利文獻

PTL?1：JP-A-2006-281763

發明內容

技術問題

另一方面，近年來，為了實現具有更高清晰度的圖像形成或布線的制造，期望減少在噴嘴之間的節距(pitch，間距)或者減少在布線之間的節距。如果在噴嘴之間的節距或者在布線之間的節距減少，那么相應地，在壓電部件的端子之間或者在各不同部件的端子之間的節距減小。

然而，在PTL?1中描述的液滴噴射頭中，由于形成有布線的表面是儲液器形成基板的一個側面，所以在布線之間的節距的最小部分與在壓電部件的端子之間的節距相同。為此，如果在壓電部件的端子之間的節距減小，那么存在難以形成布線的問題。

本發明的一些方面的一個優點在于，提供在電連接在基礎基板上的多個端子與接合至基礎基板的布線基板上的布線的布線結構體中，即使在多個端子之間的節距減少的情況下，也能夠促進形成布線的布線結構體以及制造該布線結構體的方法，并且提供包括該布線結構體的液滴噴射頭以及液滴噴射設備。

問題的解決方案

根據本發明的一個方面的布線結構體包括：基礎基板，在所述基礎基板上形成具有布置在預定方向的第一端子和第二端子的第一端子組以及與所述第一端子組平行地設置的并且具有布置在預定方向的第三端子和第四端子的第二端子組；布線基板，其接合至所述基礎基板，并且具有：具有相對于所述基礎基板呈銳角的第一傾斜表面和第二傾斜表面的第一布線形成部分以及具有相對于所述基礎基板呈銳角的第三傾斜表面和第四傾斜表面的第二布線形成部分；第一布線，其形成在第一傾斜表面上并且電連接至第一端子；第二布線，其形成在第二傾斜表面上并且電連接至第二端子；第三布線，其形成在第三傾斜表面上并且電連接至第三端子；以及第四布線，其形成在第四傾斜表面上并且電連接至第四端子。

根據此布線結構體，由于第一布線和第二布線形成在不同的傾斜表面上，所以能夠使在第一布線之間的節距和在第二布線之間的節距大于在第一端子與第二端子之間的節距。為此，即使在第一端子與第二端子之間的節距減小，也能夠容易地形成第一布線和第二布線。同樣，由于第三布線和第四布線形成在不同的傾斜表面上，所以能夠使在第三布線之間的節距和在第四布線之間的節距大于在第三端子與第四端子之間的節距。為此，即使在第三端子與第四端子之間的節距減小，也能夠容易地形成第三布線和第四布線。

在根據本發明的上述方面的布線結構體中，優選地，所述第一布線形成部分具有在基礎基板的相反側上連接第一傾斜表面和第二傾斜表面的第一連接表面，在所述第一連接表面上形成電連接至第一布線的第五端子以及電連接至第二布線的第六端子，所述第二布線形成部分具有在基礎基板的相反側上連接第三傾斜表面和第四傾斜表面的第二連接表面，并且在所述第二連接表面上形成電連接至第三布線的第七端子以及電連接至第四布線的第八端子。

因此，能夠容易地電連接布置在布線基板上的半導體器件或IC封裝件和第五、第六、第七以及第八端子。

在根據本發明的上述方面的布線結構體中，優選地，多個第一端子和多個第二端子交替地平行布置，并且多個第三端子和多個第四端子交替地平行形成。

因此，能夠增大在第一布線之間的節距和在第二布線之間的節距，結果，能夠容易地形成第一布線和第二布線。同樣，能夠增大在第三布線之間的節距和在第四布線之間的節距，結果，能夠容易地形成第三布線和第四布線。