[發明專利]低電壓MEMS快門組合件

有效

• 申請號: 201480007653.0
• 申請日: 2014-01-15
• 公開（公告）號: CN105102371A
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 哈維爾·維拉里爾;蒂莫西·J·布羅斯尼漢;賈斯珀·洛德維克·斯泰恩;理查德·S·佩恩;斯蒂芬·R·劉易斯
• 申請（專利權）人: 皮克斯特隆尼斯有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;G02B26/02
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

1.一種設備，其包括：

靜電致動組合件，其用于控制顯示元件的懸置部分的位置，所述靜電致動組合件包含：

兩個懸置對置梁，包含用于支撐所述懸置部分的第一梁及與所述第一梁對置的第二梁，所述兩個懸置對置梁中的每一者具有兩個主要表面，且一起形成靜電致動器；以及

保護涂層，其安置在所述兩個懸置對置梁中的至少一者的僅一個主要表面的數部分之上，其中所述保護涂層經圖案化以形成多個凸起片段。

2.根據權利要求1所述的設備，其中所述保護涂層包含電絕緣體。

3.根據權利要求2所述的設備，其中所述電絕緣體包含介電材料。

4.根據權利要求1所述的設備，其中所述保護涂層的厚度在約10nm到約400nm的范圍內。

5.根據權利要求1所述的設備，其中所述兩個懸置對置梁中的一者經塑形為環，所述環具有內部主要表面及外部主要表面，其中所述保護涂層安置在所述外部主要表面的僅數部分之上。

6.根據權利要求5所述的設備，其中所述保護涂層安置在與所述兩個懸置對置梁中的另一者的主要表面對置的所述外部主要表面的僅一部分之上。

7.根據權利要求1所述的設備，其中所述保護涂層安置在所述兩個懸置對置梁中的每一者的僅一個主要表面之上。

8.根據權利要求1所述的設備，其中安置在所述兩個懸置對置梁中的第一者上的所述多個凸起片段中的至少一者定位成與安置在所述兩個懸置對置梁中的第二者上的所述凸起片段中的兩者之間的間隙對置，其中所述間隙的長度大于或等于所述多個凸起片段中的所述至少一者的長度。

9.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括：

顯示器，其包含：

所述顯示元件；

處理器，其經配置以與所述顯示器通信，所述處理器經配置以處理圖像數據；以及

存儲器裝置，其經配置以與所述處理器通信。

10.根據權利要求9所述的設備，所述顯示器進一步包含：

驅動電路，其經配置以將至少一個信號發送到所述顯示器；以及

控制器，其經配置以將所述圖像數據的至少一部分發送到所述驅動電路。

11.根據權利要求9所述的設備，所述顯示器進一步包含：

圖像源模塊，其經配置以將所述圖像數據發送到所述處理器，其中所述圖像源模塊包括接收器、收發器及發射器中的至少一者。

12.根據權利要求9所述的設備，所述顯示器進一步包含：

輸入裝置，其經配置以接收輸入數據并將所述輸入數據傳達給所述處理器。

13.一種用于形成靜電致動器的方法，其包括：

在襯底上形成模具，其中所述模具包含第一壁及與所述第一壁對置的第二壁；

在所述第一壁及所述第二壁上沉積梁材料；

圖案化所述梁材料以形成第一順應性梁及與所述第一順應性梁對置的第二順應性梁；

在所述第一順應性梁及所述第二順應性梁之上沉積保護涂層以分別形成第一保護涂層及第二保護涂層；以及

在沉積所述保護涂層之后，去除所述模具，以釋放用作所述靜電致動器的對置電極的所述第一順應性梁及所述第二順應性梁。

14.根據權利要求13所述的方法，其進一步包括：在去除所述模具之前圖案化所述第一保護涂層及所述第二保護涂層中的一者的至少一部分。

15.根據權利要求14所述的方法，其中圖案化所述第一保護涂層及所述第二保護涂層中的一者的至少一部分包含保留經配置成彼此對置的所述第一及所述第二順應性梁的表面上的所述第一及所述第二保護涂層的部分。

16.根據權利要求14所述的方法，其中圖案化所述第一保護涂層及所述第二保護涂層中的一者的至少一部分包含去除所述第一保護涂層及所述第二保護涂層中的一者的部分以形成多個凸起片段。

17.根據權利要求13所述的方法，其進一步包括在去除所述模具之前圖案化所述保護涂層以去除所述第一保護涂層的部分以形成第一多個凸起片段及去除所述第二保護涂層的部分以形成第二多個凸起片段。