[發明專利]幅材引導控制單元、幅材處理設備及其操作方法

有效

• 申請號: 201480006409.2
• 申請日: 2014-01-22
• 公開（公告）號: CN104955751B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: S·海恩
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: B65H23/188
• 分類號: B65H23/188;B65H23/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 徐偉

發明技術領域

本主題涉及了一種幅材引導控制單元以及一種幅材處理設備。本主題具體地涉及一種用于尤其在真空條件下補償原料和/或卷取設施的缺陷的幅材引導控制單元。本主題具體地涉及一種用與在真空設施中涂布幅材(web)的幅材處理設備。本主題還涉及一種用于引導幅材的方法、并具體地涉及一種用于尤其在真空條件下、在幅材引導過程中補償幅材的缺陷的方法。

發明背景

幅材處理是用于處理連續幅材的設施的重要課題。其中，處理數百米或甚至數千米的幅材的許多卷筒(coil)必須以不使幅材發生損壞、尤其是單側的熱損壞(如褶皺、脫線、撕裂等等)的方式布置并且操作。然而，例如塑料或金屬箔等的幅材厚度是跨基板寬度而變化的。另外，幅材有時跨幅材寬度以不同內部張力卷繞在儲卷繞軸(storage spool coil)(在本文中，也被稱為“繞軸(storage spool)”)上。

在幅材處理(如幅材涂布)期間發生故障不是所期望的。這些故障可能導致整個生產完全停止和/或部分或全部的處理好的幅材退回。換句話說，幅材引導故障可能是極昂貴且耗時的。

為了避免幅材處理設備故障，在相關領域中已知的是，使幅材引導設備的每一導輥具有特定容差。以此方式，就可操控幅材厚度沿幅材寬度的高達例如0.02mm的差值。然而，在卷取長度長的設施中，引入導輥軸承公差會使設施傾斜供料，并可在卷繞系統中導致對角牽拉。林外，在真空應用中，極小厚度偏差就可導致在常壓下不會發生的復雜情況或故障。

此外，在現今幅材處理設備(如涂布設備)中，存在顯著空間約束。另外，在許多應用中，幅材必須在幅材一側(即，幅材或箔的涂布側)上完全不被接觸、或不受引導。因此，幅材通過幅材處理設備(如涂布設備)的路線的設計基本上受限制。這在例如涂布步驟通過涂布輪轂(drum)執行的情況下尤其如此，其中最大可為幅材路線提供360°總體轉角，但該涂布輪轂就已耗費150°直至180°。

發明概要

相關領域中的問題將由根據獨立權利要求所述的幅材引導控制單元、幅材處理設備以及用于引導幅材的方法而至少部分克服。

鑒于上文所述，提供一種用于引導幅材的幅材引導控制單元。所述幅材引導控制單元包括單個導輥。所述單個導輥包括：調整單元；兩個張力測量單元，所述兩個張力測量單元用于測量導輥的第一端部和相對于第一端部的第二端部處幅材的張力；以及數據連接，所述數據連接用于將從導輥的第一端部測量的張力以及在導輥的第二端部上測量的張力供應給控制器，用以控制調整單元。

根據本公開案另一方面，提供一種幅材處理設備，其中提供至少一個如本文所述的幅材引導控制單元。如本文所用的“處理”通常可理解為“涂布”。

根據本主題的另一方面，提供一種用于借助如本文公開的幅材引導控制單元或幅材處理設備來引導幅材的方法。所述方法包括：測量作用于導輥的第一端部和第二端部的幅材張力，從而接收張力數據；以及通過移動導輥的第一端部或第二端部來調整導輥的位置。調整基于測量到的張力數據。

本主題還涉及一種用于實行所公開的方法并且包括用于執行每個所述方法步驟的設備部分的設備。這些方法步驟可以借助硬件組件、通過適當軟件編程的計算機、通過兩者任何組合或以任何其他方式執行。此外，本主題還涉及使所述設備操作的方法。所述方法包括用于實行所述設備的每一功能的方法步驟。

另外方面、特征、細節和優點將通過從屬權利要求、說明書和附圖清楚。

附圖簡述

參考附圖，將從本主題的典型實施方式的以下詳述中清楚本主題的以上特征以及優點，在附圖中：

圖1示出根據本主題的幅材處理設備的實施方式的示意橫截面圖。

圖2示出根據本主題的實施方式的幅材引導控制單元的示意橫截面圖。

圖3示出根據本主題的實施方式的幅材引導控制單元的示意橫截面圖。

圖4示出根據本主題的實施方式的幅材引導控制單元的示意橫截面圖。

圖5示出根據本主題的實施方式的幅材處理設備的示意橫截面圖。

圖6示出根據本主題的實施方式的幅材處理設備的示意橫截面圖。

圖7示出根據本主題的實施方式的用于引導幅材的方法的流程圖。

實施例詳述