[發明專利]用于制造OLED發光裝置的設備和方法

有效

• 申請號: 201480004259.1
• 申請日: 2014-01-08
• 公開（公告）號: CN104956509B
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發明（設計）人: 約翰·W·哈默爾;邁克爾·L·保羅森
• 申請（專利權）人: OLED沃克斯有限責任公司
• 主分類號: H01L51/40
• 分類號: H01L51/40
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司11204
• 代理人: 王達佐,劉錚

1.一種用于在襯底的第一區域上沉積OLED發光裝置的一個或多個有機材料層以及在第二區域上沉積所述OLED發光裝置的一個或多個導電層的設備，其中所述一個或多個導電層部分地或完全地覆蓋所述一個或多個有機材料層并且還延伸超出所述一個或多個有機材料層的一側，所述設備包括：

a)可重復使用的掩模，包括一個或多個開放區域并定位成且保持與所述襯底接觸但不與所述襯底結合，其中至少一個掩模開放區域的一個邊緣構造成具有懸伸特征，以限定所述襯底的掩蓋部分、未掩蓋部分以及部分掩蓋部分，以及其中所述襯底的所述未掩蓋部分包括第一電極的至少一部分，以及所述部分掩蓋部分包括第二電極的至少一部分，其中所述第二電極與所述第一電極不相連；

b)一個或多個汽化有機材料源，其中所述一個或多個汽化有機材料源包括真空熱熱蒸發裝置并且提供汽化有機材料羽流，所述汽化有機材料羽流包括選擇的固有羽流形狀，并且所述固有羽流形狀具有從所述汽化有機材料羽流的中心線大于60°的固有截止角，以及其中所述固有截止角限定關于所述中心線的、包括所述汽化有機材料羽流的蒸汽總通量90％的區域；

c)一個或多個遮擋件，位于所述一個或多個汽化有機材料源中至少之一與所述襯底的至少一部分之間并且位于所述汽化有機材料羽流的與所述可重復使用的掩模的所述懸伸特征對應的側部上，其中所述一個或多個遮擋件用于在所述汽化有機材料羽流的與所述可重復使用的掩模的所述懸伸特征對應的側部上使所述汽化有機材料羽流成形，用于將所述汽化有機材料羽流的所述側部上的至少一些所述汽化有機材料羽流的傳輸限制至小于或等于選擇的截止角的至少一個角度，以及用于與所述可重復使用的掩模相結合而允許所述汽化有機材料羽流的至少一些未遮擋部分通過所述可重復使用的掩模到達所述襯底的所述第一區域，其中所述選擇的截止角相對于所述襯底的表面的法線并且小于所述固有截止角，以及其中所述第一區域包括所述襯底的所述未掩蓋部分；以及

d)一個或多個汽化導電材料源，將導電材料通過所述可重復使用的掩模傳輸至所述第二區域，其中所述第二區域至少與所述襯底的所述未掩蓋部分和所述部分掩蓋部分對應，其中所述一個或多個汽化導電材料源包括真空熱熱蒸發裝置并且提供包括與所述汽化有機材料羽流的固有羽流形狀基本相同的固有羽流形狀的汽化導電材料羽流，所述汽化導電材料羽流的所述固有羽流形狀具有與所述汽化有機材料羽流基本相同的、從所述汽化導電材料羽流的中心線大于60°的固有截止角，以及其中所述第二區域與所述第一區域部分地或完全地重疊并且在所述第一區域的與所述可重復使用的掩模的所述懸伸特征相對應的側部還延伸超出所述第一區域。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，所述選擇的截止角相對于所述襯底的表面的法線為30度至60度。

3.根據權利要求1所述的設備，其中，所述選擇的截止角相對于所述襯底的表面的法線為40度至50度。

4.根據權利要求1所述的設備，還包括配置為提供(i)所述一個或多個汽化有機材料源與所述一個或多個汽化導電材料源之間以及(ii)所述襯底與所述掩模之間的相對運動的一個或多個裝置。

5.根據權利要求1所述的設備，其中，所述可重復使用的掩模包括兩個或更多單獨的掩模，其中每個所述單獨的掩模的至少一個開放區域的一個邊緣偏移以提供所述懸伸特征。

6.根據權利要求5所述的設備，其中，所述可重復使用的掩模包括下部掩模和上部掩模，其中所述下部掩模和所述上部掩模的至少一個開放區域的一個邊緣偏移以提供所述懸伸特征。

7.根據權利要求1所述的設備，其中，所述可重復使用的掩模包括單個掩模，其中所述掩模的至少一個開放區域的一個邊緣構成為提供所述懸伸特征。

8.根據權利要求1所述的設備，其中，所述懸伸特征位于所述襯底之上并且以50至1000微米的距離與所述襯底分離。

9.根據權利要求1所述的設備，其中，所述懸伸特征位于所述襯底之上并且以100至300微米的距離與所述襯底分離。