[發(fā)明專利]共聚焦顯微鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480003197.2
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN104813215B
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松崎圭一;鹽野照弘
• 申請（專利權(quán)）人: 松下知識產(chǎn)權(quán)經(jīng)營株式會社
• 主分類號: G02B21/18
• 分類號: G02B21/18;G02B21/06;G02B21/36
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司11021
• 代理人: 李逸雪

1.一種共聚焦顯微鏡，其特征在于包括：

光生成部，同時(shí)生成從樣品反射的反射光和透過所述樣品的透過光；

掃描部，光學(xué)掃描所述樣品且規(guī)定所述反射光傳輸?shù)牡?光路的方向；

調(diào)整部，角度性地調(diào)整所述透過光傳輸?shù)牡?光路的方向；

第1信號生成部，生成對應(yīng)于所述反射光的第1信號；

第2信號生成部，生成對應(yīng)于所述透過光的第2信號；以及

圖像生成部，根據(jù)所述第1信號和所述第2信號生成合成圖像，所述合成圖像是將由所述反射光表示的反射像及由所述透過光表示的透過像合成的圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共聚焦顯微鏡，其特征在于還包括：

控制部，控制所述掃描部及所述調(diào)整部，其中，

所述光生成部包含射出射出光的光源部和將所述射出光朝向所述樣品聚光并形成樣品焦點(diǎn)的物鏡，

所述第1信號生成部包含第1聚光部、第1通過部件以及第1檢測器，其中，所述第1聚光部將所述反射光聚光并形成第1焦點(diǎn)，所述第1通過部件具有在所述第1焦點(diǎn)的周圍能讓所述反射光通過的第1通過區(qū)域和在所述第1通過區(qū)域的周圍遮斷所述反射光的第1遮斷區(qū)域，所述第1檢測器檢測通過所述第1通過區(qū)域的所述反射光的強(qiáng)度并生成所述第1信號，

所述第2信號生成部包含第2聚光部、第2通過部件以及第2檢測器，其中，所述第2聚光部將所述透過光聚光并形成第2焦點(diǎn)，所述第2通過部件具有能讓所述透過光通過的第2通過區(qū)域和在所述第2通過區(qū)域的周圍遮斷所述透過光的第2遮斷區(qū)域，所述第2檢測器檢測通過所述第2通過區(qū)域的所述透過光的強(qiáng)度并生成所述第2信號，

所述掃描部包含第1反射部和第1驅(qū)動部，其中，所述第1反射部在所述第1光路上反射所述射出光及所述反射光，所述第1驅(qū)動部驅(qū)動所述第1反射部來使所述樣品焦點(diǎn)沿在所述樣品上規(guī)定的主掃描方向及副掃描方向移位，

所述調(diào)整部包含第2反射部和第2驅(qū)動部，其中，所述第2反射部在所述第2光路上反射所述透過光，所述第2驅(qū)動部驅(qū)動所述第2反射部，

所述控制部控制所述第1驅(qū)動部和所述第2驅(qū)動部，當(dāng)所述樣品焦點(diǎn)在所述樣品上移位的期間，使所述第2焦點(diǎn)維持在所述第2通過區(qū)域內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的共聚焦顯微鏡，其特征在于：

所述光生成部包含配置在所述第2光路上的準(zhǔn)直透鏡，

所述物鏡根據(jù)從所述樣品焦點(diǎn)發(fā)出的所述反射光生成第1平行光，

所述準(zhǔn)直透鏡根據(jù)從所述樣品焦點(diǎn)發(fā)出的所述透過光生成第2平行光，

所述第1平行光從所述物鏡經(jīng)由所述掃描部到達(dá)所述第1信號生成部，

所述第2平行光從所述準(zhǔn)直透鏡經(jīng)由所述調(diào)整部到達(dá)所述第2信號生成部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的共聚焦顯微鏡，其特征在于：

所述控制部使所述第2驅(qū)動部的驅(qū)動動作與所述第1驅(qū)動部的驅(qū)動動作聯(lián)動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的共聚焦顯微鏡，其特征在于：

所述第1反射部包含擔(dān)負(fù)所述樣品焦點(diǎn)在所述主掃描方向的移位的第1反射元件和擔(dān)負(fù)所述樣品焦點(diǎn)在所述副掃描方向的移位的第2反射元件，

所述第1驅(qū)動部包含驅(qū)動所述第1反射元件的第1驅(qū)動裝置和驅(qū)動所述第2反射元件的第2驅(qū)動裝置，

所述第2反射部包含與所述第1反射元件同步動作的第3反射元件和與所述第2反射元件同步動作的第4反射元件，

所述第2驅(qū)動部包含與所述第1驅(qū)動裝置的所述驅(qū)動動作相關(guān)聯(lián)地被所述控制部控制的第3驅(qū)動裝置和與所述第2驅(qū)動裝置的所述驅(qū)動動作相關(guān)聯(lián)地被所述控制部控制的第4驅(qū)動裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的共聚焦顯微鏡，其特征在于：

所述控制部控制所述第3驅(qū)動裝置來降低所述主掃描方向上的所述樣品焦點(diǎn)的所述移位對所述第2焦點(diǎn)的位置的影響，

所述控制部控制所述第4驅(qū)動裝置來降低所述副掃描方向上的所述樣品焦點(diǎn)的所述移位對所述第2焦點(diǎn)的所述位置的影響。