[發(fā)明專利]基板的異物檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480001346.1
• 申請日: 2014-04-01
• 公開（公告）號: CN104335030B
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李玄石;梁在植;金資根;金熙泰;柳希昱
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社高永科技
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/94
• 代理公司: 北京青松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)11384
• 代理人: 鄭青松,金鳳華

1.一種基板的異物檢測方法，其中，包括：

利用至少一個(gè)光柵圖案光，來獲得基于測量基板高度的三維信息的步驟；

利用上述基于高度的三維信息，來檢測上述測量基板的異物的步驟；

利用多個(gè)彩色光，來獲得上述測量基板的各顏色的二維信息的步驟；

利用上述各顏色的二維信息，來檢測上述測量基板的異物的步驟；以及

合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測結(jié)果的步驟；

其中，利用上述各顏色的二維信息，來檢測上述測量基板的異物的步驟包括：

利用上述多個(gè)彩色光，來獲得主基板的各顏色的主圖像的步驟；

利用上述多個(gè)彩色光，來獲得上述測量基板的各顏色的測量圖像的步驟；以及

通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測量圖像，來檢測異物的步驟。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的異物檢測方法，其中，通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測量圖像，來檢測異物的步驟包括：

通過合并上述各顏色的測量圖像，來形成測量基板圖像的步驟；

通過合并上述各顏色的主圖像，來形成主基板圖像的步驟；以及

通過比較上述測量基板圖像和上述主基板圖像的差異，來檢測異物的步驟。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的異物檢測方法，其中，通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測量圖像，來檢測異物的步驟包括：

利用上述各顏色的測量圖像，來形成對上述測量基板的飽和度圖的步驟；

利用上述各顏色的主圖像，來形成對上述主基板的飽和度圖的步驟；以及

通過比較對上述測量基板的飽和度圖和上述主基板的飽和度圖的差異，來檢測異物的步驟。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的異物檢測方法，

其中，合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測結(jié)果的步驟包括：

當(dāng)根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測結(jié)果及根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測結(jié)果均被判定為異物時(shí)，判定為最終異物的步驟。

5.一種基板的異物檢測方法，包括：

利用至少一個(gè)光柵圖案光，來獲得基于測量基板高度的三維信息的步驟；

利用上述基于高度的三維信息，來檢測上述測量基板的異物的步驟；

利用多個(gè)彩色光，來獲得上述測量基板的各顏色的二維信息的步驟；

利用上述各顏色的二維信息，來檢測上述測量基板的異物的步驟；以及

合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測結(jié)果的步驟；

其中，在利用上述基于高度的三維信息來檢測對上述測量基板的異物的步驟及利用上述各顏色的二維信息來檢測上述測量基板的異物的步驟之前，還包括：

利用紅外線照明，來獲得對上述測量基板的掩模信息的步驟；以及

基于上述掩模信息來生成掩模，并從用于檢測上述異物的檢測對象中除外的步驟。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板的異物檢測方法，其中，上述掩模信息包括形成于上述測量基板的孔信息。

7.一種基板的異物檢測方法，其中，包括：

利用多個(gè)彩色光，來獲得主基板的各顏色的主圖像的步驟；

利用上述多個(gè)彩色光，來獲得測量基板的各顏色的測量圖像的步驟；

通過合并上述各顏色的主圖像，來形成主基板圖像，通過合并上述各顏色的測量圖像，來形成測量基板圖像的步驟；

通過比較上述測量基板圖像和上述主基板圖像的差異，來檢測第一異物的步驟；

利用上述各顏色的主圖像，來形成對上述主基板的飽和度圖，利用上述各顏色的測量圖像，來形成上述測量基板的飽和度圖的步驟；

通過比較上述測量基板的飽和度圖和上述主基板的飽和度圖的差異，來檢測第二異物的步驟；以及

合并上述第一異物和上述第二異物的異物檢測結(jié)果的步驟。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板的異物檢測方法，其中，合并上述第一異物和上述第二異物的異物檢測結(jié)果的步驟包括：

當(dāng)在上述第一異物的檢測結(jié)果及上述第二異物的檢測結(jié)果中的一個(gè)以上中檢測出為異物時(shí)，則判定為異物的步驟。