[實用新型]一種硅片推片裝置

有效

• 申請號: 201420868874.4
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN204289414U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 邱文良
• 申請（專利權）人: 蘇州格林電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 王華

1.一種硅片推片裝置，其特征在于：包括推送機構和承載盒輸送機構；所述推送機構包括一推送機構支架、推桿和推桿固定部；所述推送機構支架的頂部設有一主動皮帶輪和一從動皮帶輪，所述主動皮帶輪和從動皮帶輪上套設有閉環的皮帶，所述主動皮帶輪的轉軸與一驅動馬達的輸出軸驅動連接；所述推桿一端固定在推桿固定部上，另一端為自由端，所述推桿固定部與皮帶固接；所述推送機構支架的頂部沿主動皮帶輪和從動皮帶輪連線的方向設有推桿固定部導軌，所述推桿固定部滑動支撐于所述推桿固定部導軌上；所述承載盒輸送機構包括水平設置的負載承載盒輸送帶、水平設置的硅片輸送帶和升降平臺；所述負載承載盒輸送帶和硅片輸送帶成夾角設置，所述升降平臺位于所述負載承載盒輸送帶和硅片輸送帶的夾角處；所述升降平臺作用有豎向移動驅動裝置。

2.根據權利要求1所述的硅片推片裝置，其特征在于：所述負載承載盒輸送帶設置在一安裝架上，該安裝架水平滑動設置在安裝架導軌上，所述安裝架作用有安裝架水平移動驅動缸，所述安裝架導軌朝向所述升降平臺方向設置。

3.根據權利要求2所述的硅片推片裝置，其特征在于：所述安裝架在位于負載承載盒輸送帶的下方設有空載承載盒輸送帶。

4.根據權利要求1所述的硅片推片裝置，其特征在于：所述推送機構支架的頂部設有導板，該導板開設有導孔，所述推桿插設在所述導孔內。

5.根據權利要求1所述的硅片推片裝置，其特征在于：所述推桿的自由端的端部設有推片凹部。