[實用新型]產品翹曲矯正裝置

有效

• 申請號: 201420866573.8
• 申請日: 2014-12-29
• 公開（公告）號: CN204289408U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 林昶
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種產品翹曲矯正裝置，其特征在于，包括用于承載所述產品的承載部、用于對所述產品進行加熱的加熱單元、設于所述承載部上方的多個噴嘴，以及分區域對所述多個噴嘴進行控制以調整各區域的噴嘴噴出的氣體在所述產品上產生的壓力大小的噴嘴控制單元；每個噴嘴均包括用于獲取氣流的進氣嘴及朝向所述承載部的出氣嘴。

2.根據權利要求1所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，還包括設于所述承載部上方的頂板框架和設于所述頂板框架上的多個可移動件，每個可移動件上固定連接有一個以上的所述噴嘴，所述噴嘴控制單元包括用于控制每個可移動件相對于所述頂板框架做上下運動從而調整該可移動件上的噴嘴的出氣嘴與所述產品的距離的高度控制部。

3.根據權利要求2所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，每個所述可移動件為邊長各異的方框狀結構，邊長大的可移動件套在邊長小的可移動件外。

4.根據權利要求3所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，每個所述可移動件為同心的方框狀結構。

5.根據權利要求2所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，每個所述可移動件為半徑各異的圓環狀結構，半徑大的可移動件套在半徑小的可移動件外，每個所述可移動件為同心的圓環狀結構。

6.根據權利要求2所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，還包括氣箱和多根氣管，每個所述進氣口都通過氣管與所述氣箱相連通。

7.根據權利要求2所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，還包括下頂板，所述下頂板上開有供各個噴嘴穿過的通孔。

8.根據權利要求2所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，所述高度控制部包括多個馬達和由馬達控制伸縮的馬達連接件，所述馬達連接件連接于相應的可移動件上。

9.根據權利要求1所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，所述噴嘴控制單元還包括用于調整各區域的噴嘴的氣體流量的流量調整部。

10.根據權利要求1所述的產品翹曲矯正裝置，其特征在于，所述承載部為導熱材質的承載板，所述加熱單元用于對所述承載板進行加熱。