[實用新型]采用雙通結構的雙腔準分子激光器

有效

• 申請號: 201420860169.X
• 申請日: 2014-12-30
• 公開（公告）號: CN204497560U
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 李慧;趙江山;沙鵬飛;宋興亮;范元媛;單耀瑩;王倩;蔡茜瑋;張立佳;崔惠絨;周翊;王宇
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: H01S3/081
• 分類號: H01S3/081;H01S3/082
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種采用雙通結構的雙腔準分子激光器，包括主振蕩腔(MO)、線寬壓窄模塊(LNM)、輸出耦合鏡(OC)、功率放大腔(PA)和光路傳輸系統，所述主振蕩腔(MO)與功率放大腔(PA)在垂直于水平面的方向上分別上下放置，所述光路傳輸系統包括第一高反鏡(M1)、PA光路傳輸模塊(1)、PA光路轉置模塊(2)，其中，

所述第一高反鏡(M1)和所述PA光路傳輸模塊(1)用于將所述主振蕩腔(MO)輸出的種子光引導，以使該種子光從所述功率放大腔(PA)的一個窗口入射；

所述PA光路轉置模塊(2)用于將經所述功率放大腔(PA)放大后從該功率放大腔(PA)的另一窗口出射的激光反射后返回到該功率放大腔(PA)進行二次放大并輸出，其特征在于，

所述PA光路轉置模塊(2)由第六高反鏡(M6)構成，該第六高反鏡(M6)是由兩個反射面成一定角度的反射鏡組成的雙面反射鏡。

2.根據權利要求1所述的采用雙通結構的雙腔準分子激光器，其特征在于，所述PA光路傳輸模塊(1)由第三高反鏡(M3)、第四高反鏡(M4)和第五高反鏡(M5)組成，由所述PA光路傳輸模塊(1)入射到所述功率放大腔(PA)的激光與從所述PA光路轉置模塊(2)返回的激光位于同一水平面內且成一小于10mrad的夾角。

3.根據權利要求2所述的采用雙通結構的雙腔準分子激光器，其特征在于，所述第三高反鏡(M3)、第四高反鏡(M4)的入射角均為45°，所述第五高反鏡(M5)的入射角不為45°。

4.根據權利要求3所述的采用雙通結構的雙腔準分子激光器，其特征在于，所述第五高反鏡(M5)的入射角與45°的差值在正負5mrad范圍內。

5.根據權利要求1所述的采用雙通結構的雙腔準分子激光器，其特征在于，所述PA光路傳輸模塊(1)由第三高反鏡(M3)、第四高反鏡(M4)和第五高反鏡(M5)組成，且該三個高反鏡在同一水平面內。

6.根據權利要求1所述的采用雙通結構的雙腔準分子激光器，其特征在于，組成所述第六高反鏡(M6)的兩個反射鏡的夾角小于90°。