[實(shí)用新型]一種蒸發(fā)臺的防繞射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420847687.8
• 申請日: 2014-12-26
• 公開（公告）號: CN204385285U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉海洋;付立榮;林閩;許修發(fā);丁兆陽;趙志云;胡靚
• 申請（專利權(quán)）人: 中國振華集團(tuán)永光電子有限公司（國營第八七三廠）
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 谷慶紅

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種蒸發(fā)臺，具體涉及一種蒸發(fā)臺的防繞射裝置。

背景技術(shù)

我公司蒸發(fā)臺主要用于對硅片表面蒸鍍13μ～15μ的鋁層，在使用過程中發(fā)現(xiàn)蒸發(fā)完畢后硅片背面沒有被工件盤遮擋的部分也被蒸鍍上一層佷薄的鋁，這種情況我們稱為繞射，繞射會使硅片背面蒸鋁時(shí)粘附不牢，造成鋁層脫落，導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢；或者使下一道工序沒有辦法將硅片背面那一層很薄的鋁去掉，造成產(chǎn)品的返工。廠家前來我廠調(diào)試和解決蒸發(fā)臺繞射問題的工作人員介紹，該廠和國內(nèi)生產(chǎn)該類型的蒸發(fā)臺均有此類問題出現(xiàn)，目前尚未找到從根本上解決的途徑。

而目前國內(nèi)的解決方案有兩種，一種是在硅片背面加一片同尺寸的遮擋片，這樣就加大了操作工的工作量和增加工件盤的重量加大工件盤旋轉(zhuǎn)電機(jī)的負(fù)荷。另一種是將裝夾硅片的工件盤全密封，這樣就加大了操作工的工作難度，而且在裝夾過程中容易產(chǎn)生碎片影響成品率。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種蒸發(fā)臺的防繞射裝置。

本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)。

本實(shí)用新型提供的一種蒸發(fā)臺的防繞射裝置，包括蒸發(fā)臺組件、隔擋圈、傳動軸、頂罩、支架、鐘罩和行星工件盤；所述蒸發(fā)臺組件設(shè)置于鐘罩內(nèi)，所述鐘罩內(nèi)還設(shè)置有頂罩，所述頂罩的下方設(shè)置有支架，所述支架通過傳動軸活動安裝在鐘罩上，所述支架上安裝有行星工件盤，所述行星工件盤的下方設(shè)置有傳動軸，所述隔擋圈固定在鐘罩的內(nèi)壁上。

所述隔擋圈的內(nèi)徑小于行星工件盤下端所在圓周的直徑。

所述隔擋圈與行星工件盤下端的距離為0.5cm～1cm。

本實(shí)用新型的有益效果在于：通過在鐘罩內(nèi)設(shè)置隔擋圈，將隔擋圈置于行星工件盤的下方，并且隔擋圈的內(nèi)徑設(shè)置成略小于星工件盤下端所在圓周的直徑，可以有效防止鋁蒸汽碰撞到鐘罩的內(nèi)壁后散射到工件盤背面，解決了蒸發(fā)臺鋁蒸汽的繞射問題，降低操作工的工作難度。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-蒸發(fā)臺組件，11-坩堝，12-電子槍，13-電子束，14-鋁，15-磁偏轉(zhuǎn)，16-鋁蒸汽，2-隔擋圈，3-傳動軸，4-頂罩，5-支架，6-鐘罩，7-行星工件盤。

具體實(shí)施方式

下面進(jìn)一步描述本實(shí)用新型的技術(shù)方案，但要求保護(hù)的范圍并不局限于所述。

如圖1所示的一種蒸發(fā)臺的防繞射裝置，包括蒸發(fā)臺組件1、隔擋圈2、傳動軸3、頂罩4、支架5、鐘罩6和行星工件盤7；所述蒸發(fā)臺組件1設(shè)置于鐘罩6內(nèi)，所述鐘罩6內(nèi)還設(shè)置有頂罩4，所述頂罩4的下方設(shè)置有支架5，所述支架5通過傳動軸3活動安裝在鐘罩6上，所述支架5上安裝有行星工件盤7，所述行星工件盤7的下方設(shè)置有傳動軸3，所述隔擋圈2固定在鐘罩6的內(nèi)壁上。根據(jù)其鋁源蒸發(fā)時(shí)按直線方向飛行，鋁蒸汽與器壁的碰撞會產(chǎn)生反射情況，并通過加設(shè)隔擋圈2防止鋁蒸汽碰撞到鐘罩的內(nèi)壁后散射到工件盤背面。

所述隔擋圈2的內(nèi)徑小于行星工件盤7下端所在圓周的直徑所述隔擋圈2與行星工件盤7下端的距離為0.5cm～1cm。

將隔擋圈的內(nèi)徑設(shè)置成略小于星工件盤下端所在圓周的直徑，可以有效防止鋁蒸汽碰撞到鐘罩的內(nèi)壁后散射到工件盤背面，解決了蒸發(fā)臺鋁蒸汽的繞射問題，降低操作工的工作難度。