[實用新型]一種吸筆有效
| 申請號： | 201420846216.5 | 申請日： | 2014-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN204271062U | 公開（公告）日： | 2015-04-15 |
| 發明（設計）人： | 張春華;袁中存;孟祥熙;許濤 | 申請（專利權）人： | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 215129 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 | ||
【權利要求書】：
1.一種吸筆，其特征在于，包括：
吸盤；
與所述吸盤連通的第一吸管；
與所述第一吸管連通的握管；
與所述握管連通的第二吸管；
所述握管的側壁設置有氣流開關；
所述吸盤設置有吸嘴，且所述吸嘴的形狀為環狀。
2.根據權利要求1所述的吸筆，其特征在于，所述吸盤的外輪廓為圓形。
3.根據權利要求1所述的吸筆，其特征在于，所述吸嘴的形狀為圓環狀。
4.根據權利要求3所述的吸筆，其特征在于，所述吸嘴的形狀為至少2個互通的同心圓環。
5.根據權利要求4所述的吸筆，其特征在于，所述吸嘴的圓心和所述吸盤的圓心重合。
6.根據權利要求1-5任一項所述的吸筆，其特征在于，所述氣流開關為小孔。
7.根據權利要求6所述的吸筆，其特征在于，所述氣流開關的形狀為橢圓形。
8.根據權利要求1-5任一項所述的吸筆，其特征在于，所述吸盤的材質為石英。
9.根據權利要求1-5任一項所述的吸筆，其特征在于，所述握管的材質為石英。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
