[實用新型]一種帶有橡膠隔水層的晶體生長設備爐體壁內水道結構有效
| 申請號: | 201420842962.7 | 申請日: | 2014-12-23 |
| 公開(公告)號: | CN204342923U | 公開(公告)日: | 2015-05-20 |
| 發明(設計)人: | 李杰;談建嶺;史俊杰 | 申請(專利權)人: | 常州愛晶光電設備有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;F27D1/10 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 213000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 帶有 橡膠 水層 晶體生長 設備 體壁 水道 結構 | ||
技術領域:
本實用新型涉及一種帶有橡膠隔水層的晶體生長設備爐體壁內水道結構。
背景技術:
隨著經濟的發展,晶體材料方面的運用領域越來越廣,晶體生長設備也越來越普遍,但是目前晶體設備還存在著一些缺陷,那就是不銹鋼爐體壁中水道的布置。
目前市面上的不銹鋼爐體壁中的水道都是通過不銹鋼薄板現場配做來達到隔水的效果的,但是這種做法存在一個比較大的缺陷,那就是因為爐體內壁的圓度不夠,導致隔水板很難做到與外壁的零間隙,而這也必然會導致在通水時會有部分水不通過水道直接從間隙中通過,嚴重的時候甚至會導致局部死水發熱的情況。
實用新型內容:
鑒于上述技術問題,本實用新型提供了一種帶有橡膠隔水層的晶體生長設備爐體壁內水道結構。該水道結構通過加設橡膠隔水層來解決水道隔層間的密封問題,有利于水道間水流的正常流動。
本實用新型的具體技術方案如下:
一種帶有橡膠隔水層的晶體生長設備爐體壁內水道結構,包括設有抽氣口的爐體,其特征在于,所述爐體通過內壁和外壁構成一水道層,所述水道層中固定安置有復數條隔板;所述每條隔板分別由橡膠隔水層和不銹鋼隔水板組合構成。
上述方案中,所述橡膠隔水層的寬度略寬于不銹鋼隔水板的寬度。
上述方案中,所述復數條隔板在內部與外壁之間螺旋環布,在爐體壁內形成螺旋向上的水道。
上述方案中,所述爐體一側壁設有出水口。
上述方案中,所述爐體的底部設有進水口。
上述方案中,所述爐體頂部設有爐體上法蘭。
上述方案中,所述爐體底部設有爐體下法蘭。
本實用新型所述結構在不銹鋼隔水板的基礎上略做調整后再在上面增加一層略大的橡膠隔水層,因為橡膠隔水層比內外壁的間隙要稍大,但是橡膠在擠壓的情況下可以變形,所以這種做法既可以避免做不銹鋼水道隔板時為了達到與外壁的貼合耗費大量的精力,又可以達到內外壁水道之間的完全隔絕,使水流能夠按照設計時的思路流動,更好的保證了爐體內部溫區的均衡性,使長晶過程更加可控。通過我們的多次對比試驗發現改進后長晶設備,確實比原來的設備在長晶效果、爐壁溫升等方面有明顯的提升。
附圖說明:
以下結合附圖和具體實施方式來進一步說明本實用新型。
圖1為本實用新型的剖面結構圖a。
圖2為本實用新型的剖面結構圖b。
圖3為圖1中隔板5的局部放大圖。
具體實施方式:
為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解,下面結合具體圖示,進一步闡述本實用新型。
圖1至圖3所示,本實用新型所述的帶有橡膠隔水層的晶體生長設備爐體壁內水道結構,它包括設有抽氣口100的爐體1。其中,爐體通過內壁2和外壁3構成一水道層4,該水道層4中固定安置有復數條隔板5。每條隔板5分別由橡膠隔水層51和不銹鋼隔水板52組合構成。橡膠隔水層51的寬度略寬于不銹鋼隔水板52的寬度。復數條隔板5在內部2與外壁3之間螺旋環布,在爐體壁內形成螺旋向上的水道6。爐體一側壁設有出水口7。爐體的底部設有進水口8。爐體頂部設有爐體上法蘭9。爐體底部設有爐體下法蘭10。
以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
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