[實用新型]一種管式PECVD風冷爐體結構

有效

• 申請號: 201420828851.0
• 申請日: 2014-12-24
• 公開（公告）號: CN204385290U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 肖四哲;郭峰成
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

技術領域

本實用新型涉及PECVD設備技術領域，更具體地涉及一種管式PECVD風冷爐體結構。

背景技術

管式PECVD是廣泛應用在太陽能光伏行業，用于電池片表面鍍膜（減反膜），以增強光吸收率并延長電池片壽命的重要設備。爐體作為熱源，一般呈管狀，為簡化結構，PECVD設備廠家通常將其設計成為自然冷卻的散熱方式。現有散熱方式的不足和缺陷：1、減反膜的沉積反應是在高溫下進行的，反應完成后，爐體需要降溫以方便取出電池片進行其他后續工藝，由于是自然冷卻，爐體內部的熱量只能慢慢通過隔熱層傳導到爐體外部，降溫過程比較緩慢，工藝時間隨之延長，進而影響PECVD設備的產能，降低效率；2、減反膜的沉積反應過程中，爐體內部的熱量通過隔熱層直接傳導到爐體表面，導致爐體表面溫度過高，成為生產過程的不穩定因素。

因此，為了提高爐體內部冷卻效率、降低爐體表面溫度，如何設計一種利用流動空氣進行散熱的管式PECVD爐體結構，是業界亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是克服上述現有技術的不足，提供一種管式PECVD風冷爐體結構，對爐體內部通入空氣，利用空氣的流動帶走熱量排到爐體外部，從而加速爐體內部冷卻效率、降低爐體表面溫度，縮短工藝周期，提升產能。

本實用新型解決上述技術問題采用的技術方案是：一種管式PECVD風冷爐體結構，包括：石英管，設于石英管兩端的石英管定位圈，及由內至外依次設于石英管外圍隔熱層和殼體；所述石英管與隔熱層之間存在間隙形成第一通道，加熱線圈均勻設于第一通道內，所述第一通道的兩端分別開設有與外界空氣相連通的第一進氣口和第一排氣口，第一進氣口和第一排氣口設有閥門。

所述殼體為雙層結構，內殼體與外殼體之間存在間隙形成第二通道，所述第二通道的兩端分別設有與外界空氣相連通的的第二進氣口和第二排氣口，第二進氣口設有閥門。

所述第二通道內靠近第二進氣口和第二排氣口之間設有環狀均氣板，均氣板上開設有若干個通孔。

所述均氣板之間設有導風條。

所述第一進氣口或∕和第二進氣口接有高壓風機。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果：

1.?石英管與隔熱層之間留有間隙，沉積反應完成后冷卻時，爐體內部通過鼓入冷空氣，借助冷空氣的流動，迅速帶走熱量，大大縮短降溫時間，提高爐體的冷卻速度，減反膜沉積工藝周期也隨之大幅縮短，直接提升了設備產能，稱之為爐體內層散熱。

2.?爐體的殼體采用雙層結構，爐體加熱過程中，借助冷空氣的流動，與爐體內部的隔熱層均勻地進行熱交換，爐體表面溫度大幅下降，稱之為爐體外層散熱。同時，雙層結構非常有利于隔熱。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合附圖以及具體實施方式，對本實用新型做進一步描述。

請參見圖1，本實用新型涉及一種管式PECVD風冷爐體結構，包括石英管1、加熱線圈2、隔熱層3、內殼體4、外殼體5及定位圈6。石英管1為電池片的沉積反應室，石英管1內設有石墨舟12，石墨舟12主要由石墨片及陶瓷棒構成，石墨片用于形成相應的反應磁場，陶瓷棒起到絕緣作用。石英管1的管體兩端固定有石英管定位圈6，石英管1的管體外側、兩定位圈6之間均勻的設有加熱線圈2，加熱線圈2用于提供沉積反應所需的熱能。加熱線圈2的外側、兩定位圈6之間套有管狀隔熱層3，隔熱層3用于反應時減少爐體內部熱能損失及防止爐體表面溫度過高。在隔熱層3與石英管1之間留有間隙，形成了內層散熱第一通道，在兩側的定位圈6上分別開設有第一進氣口10和第一排氣口11，兩氣口與第一通道的內腔連通，在第一進氣口10和第一排氣口11設有閥門，此處的閥門保證了沉積反應過程中氣口的封閉，以確保爐體內部石英管溫度場的均勻分布，第一進氣口10處配備高壓風機，以便于冷空氣的鼓入及排放。

在隔熱層3的外側、兩定位圈6之間設有鈑金內殼體4，在內殼體4和定位圈6的外側設有鈑金外殼體5，內、外殼體之間留有間隙，形成了外層散熱第二通道，在外殼體5的軸向兩側分別開設有第二進氣口7和第二排氣口8，兩氣口與第二通道的內腔連通，在第二進氣口7處亦設有閥門，同時配備有高壓風機，以便于冷空氣的鼓入及排放。第二通道內靠近第二進氣口7和第二排氣口8之間分別設有環狀均氣板9，均氣板9上開設有若干個通孔，同時，在兩側均氣板9之間設有若干個平行的導風條（圖中未標示），以此保證外夾層內冷空氣與爐體均勻接觸。