[實(shí)用新型]一種集成電路廠房?jī)?nèi)的精密儀器隔振結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420826564.6
• 申請(qǐng)日: 2014-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN204437163U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳怡宏;張意;華建民;康明;黃樂鵬;張愛莉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶建工住宅建設(shè)有限公司;重慶大學(xué);重慶建工集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): F16F9/32
• 分類號(hào): F16F9/32
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種隔振結(jié)構(gòu)，特別是涉及一種用于集成電路廠房?jī)?nèi)的精密儀器隔振結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

在近十幾年的時(shí)間里，集成電路加工工藝水平一直在快速發(fā)展。目前國(guó)際上主要的集成電路代工廠可規(guī)模化生產(chǎn)的加工水平已經(jīng)到0.13μm，像Intel、AMD及IBM公司的加工工藝水平已經(jīng)達(dá)到65nm甚至45nm。集成電路生產(chǎn)過程中,?由于線寬尺寸越來(lái)越小，受制于環(huán)境的因素也越來(lái)越多，?如空氣中的塵埃、工業(yè)氣體中的雜質(zhì)、水中的微生物、人身上的細(xì)菌及塵埃、電磁干擾、噪聲振動(dòng)等所產(chǎn)生的污染，都會(huì)對(duì)集成電路的生產(chǎn)造成影響，微振動(dòng)問題是集成電路生產(chǎn)廠設(shè)計(jì)與施工中需要解決的一個(gè)重大問題。

在集成電路廠房土建竣工，廠房?jī)?nèi)動(dòng)力設(shè)備安裝完畢并試運(yùn)行時(shí),?需測(cè)試精密設(shè)備位置處的振動(dòng)值，以判斷是否滿足防微振要求，當(dāng)不能滿足時(shí)，應(yīng)對(duì)精密設(shè)備采取隔振措施。現(xiàn)有的隔振措施就是在精密設(shè)備下增加一個(gè)采用橡膠隔振墊，這種隔振方式不能精密控制振動(dòng)，不能對(duì)微震動(dòng)進(jìn)行有效消除，導(dǎo)致儀器不能安裝，同時(shí)這種橡膠隔振墊的承載能力弱，對(duì)于重量較重的精密儀器，不便安裝。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理、隔振效果好的集成電路廠房?jī)?nèi)的精密儀器隔振結(jié)構(gòu)，通過采取空氣彈簧與阻尼器的雙重隔振，隔振效果更好，承載能力更強(qiáng)。

????為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下，它臺(tái)座、供氣系統(tǒng)、高度控制系統(tǒng)、空氣彈簧、阻尼器，其特征在于：所述空氣彈簧位于所述臺(tái)座之下，供氣系統(tǒng)的輸出端與高度控制系統(tǒng)的輸入端相連，高度控制系統(tǒng)的輸出端與空氣彈簧相連，阻尼器設(shè)置在空氣彈簧之下，由所述的空氣彈簧與所述的阻尼器串聯(lián)支撐所述的臺(tái)座。

進(jìn)一步的，所述臺(tái)座的縱向截面為“T”型。

進(jìn)一步的，所述空氣彈簧為兩個(gè)，對(duì)稱安裝在“T”型臺(tái)座的底面兩側(cè)。

供氣系統(tǒng)直接利用廠房?jī)?nèi)已有的潔凈壓縮空氣，給空氣彈簧充、放氣，利用高度控制系統(tǒng)控制空氣彈簧的高度，從而調(diào)節(jié)臺(tái)座的縱向位置以克服負(fù)載變化對(duì)隔振基礎(chǔ)性能造成的影響，阻尼器設(shè)置在空氣彈簧的底部，通過設(shè)置阻尼器可以提供阻力，減少精密儀器放置在臺(tái)座上后產(chǎn)生的振動(dòng)，阻尼器與空氣彈簧串聯(lián)安裝在臺(tái)座的底部，可以保證隔振結(jié)構(gòu)具有強(qiáng)的承載力，克服現(xiàn)有的橡膠隔振墊承載能力差的缺點(diǎn)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過在緊密儀器安裝位置設(shè)置一個(gè)隔振結(jié)構(gòu)，采用空氣彈簧與阻尼器的雙重隔振，隔振效果更好，承載能力更強(qiáng)。

由于采用了以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理、隔振效果好的特點(diǎn)，它通過采取空氣彈簧與阻尼器的雙重隔振，隔振效果更好，承載能力更強(qiáng)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

????附圖中附圖標(biāo)記如下：1.臺(tái)座；2.供氣系統(tǒng)；3.高度控制系統(tǒng)；4.空氣彈簧；5.阻尼器。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

以下結(jié)合具體附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)現(xiàn)進(jìn)行詳細(xì)的描述。

????參見圖1，本實(shí)用新型包括臺(tái)座1、供氣系統(tǒng)2、高度控制系統(tǒng)3、空氣彈簧4、阻尼器5，所述空氣彈簧4位于所述臺(tái)座1之下，供氣系統(tǒng)2的輸出端與高度控制系統(tǒng)3的輸入端相連，高度控制系統(tǒng)（3）的輸出端與空氣彈簧4相連，阻尼器5設(shè)置在空氣彈簧4之下，由所述的空氣彈簧4與所述的阻尼器5串聯(lián)支撐所述的臺(tái)座1。

供氣系統(tǒng)2直接利用廠房?jī)?nèi)已有的潔凈壓縮空氣，給空氣彈簧4充、放氣，利用高度控制系統(tǒng)3控制空氣彈簧4的高度，從而調(diào)節(jié)臺(tái)座1的縱向位置以克服負(fù)載變化對(duì)隔振基礎(chǔ)性能造成的影響，阻尼器5設(shè)置在空氣彈簧4的底部，通過設(shè)置阻尼器5可以提供阻力，減少精密儀器放置在臺(tái)座1上后產(chǎn)生的振動(dòng)，阻尼器5與空氣彈簧4串聯(lián)安裝在臺(tái)座1的底部，可以保證隔振結(jié)構(gòu)具有強(qiáng)的承載力，克服現(xiàn)有的橡膠隔振墊承載能力差的缺點(diǎn)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過在緊密儀器安裝位置設(shè)置一個(gè)隔振結(jié)構(gòu)，采用空氣彈簧與阻尼器的雙重隔振，隔振效果更好，承載能力更強(qiáng)。

參見圖1，所述臺(tái)座1縱向截面為“T”型，空氣彈簧4為兩個(gè)，對(duì)稱安裝在“T”型臺(tái)座1的底面兩側(cè)。臺(tái)座縱向截面為“T”型可以保持臺(tái)座的平衡，同時(shí)可以方便空氣彈簧與阻尼器的安裝。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。