[實用新型]一種有毒廢氣凈化塔

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420821593.3
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN204337987U
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張文光;邱艷東
• 申請（專利權(quán)）人: 常州恒威凈化設(shè)備有限公司
• 主分類號: B01D53/18
• 分類號: B01D53/18
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32257
• 代理人: 王倩

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種有毒廢氣回收裝置，尤其涉及一種有毒廢氣凈化塔。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體工業(yè)中外延硅的“N”型摻雜，硅中“N”型擴散，離子注入，生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與Ⅲ/V族元素形成的化合物半導(dǎo)體中需要用到砷烷，工業(yè)上生產(chǎn)的砷烷用于有機合成。在半導(dǎo)體集成電路制造中會產(chǎn)生磷烷，砷烷和磷烷都是有劇毒的易燃氣體，需要經(jīng)過凈化、回收。目前采用的噴淋水洗式凈化處理設(shè)備，由于結(jié)構(gòu)設(shè)計中存在的不足導(dǎo)致凈化效果較差，造成污染。

有鑒于上述現(xiàn)有的廢氣凈化塔存在的缺陷，本設(shè)計人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型有毒廢氣凈化塔，使其更具有實用性。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的廢氣凈化塔存在的缺陷，而提供一種新型有毒廢氣凈化塔，提高廢氣凈化效率，從而更加適于實用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值。

本實用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本實用新型提出的有毒廢氣凈化塔，包括有塔體、噴淋系統(tǒng)、第二噴淋系統(tǒng)、進氣口、排氣口、填料、第一水箱、支架、彎管和鼓泡器；

所述塔體的頂部設(shè)置有排氣口，所述塔體內(nèi)部的上部設(shè)置有第二噴淋系統(tǒng)，所述第二噴淋系統(tǒng)的下部設(shè)置有噴淋系統(tǒng)，所述噴淋系統(tǒng)為上下設(shè)置的雙層結(jié)構(gòu)，在所述噴淋系統(tǒng)的上下兩層結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有填料；

所述塔體設(shè)置在所述支架上部，所述塔體的底部為第一水箱，其中彎管一端為進氣口，另一端設(shè)置在所述第一水箱內(nèi)部；

所述彎管設(shè)置在第一水箱內(nèi)的一段設(shè)置有鼓泡器。

更進一步的，前述的有毒廢氣凈化塔，還包括有底部和排污口，其中底部為第一水箱的底部，所述底部為錐形結(jié)構(gòu)，在錐形結(jié)構(gòu)的中間位置設(shè)置有排污口。

更進一步的，前述的有毒廢氣凈化塔，還包括有第二水箱和管道，所述第二水箱設(shè)置在所述支架的一側(cè)，所述第二水箱通過管道與所述第一水箱相連接。

更進一步的，前述的有毒廢氣凈化塔，所述第二水箱上設(shè)置有循環(huán)泵。

更進一步的，前述的有毒廢氣凈化塔，所述塔體內(nèi)部第二噴淋系統(tǒng)的上部設(shè)置有收水器。

更進一步的，前述的有毒廢氣凈化塔，所述塔體一側(cè)靠近第二噴淋系統(tǒng)的側(cè)面設(shè)置有檢修孔。

更進一步的，前述的有毒廢氣凈化塔，所述塔體一側(cè)靠近填料的側(cè)面設(shè)置有檢修孔。

借由上述技術(shù)方案，本實用新型的有毒廢氣凈化塔至少具有下列優(yōu)點：

本實用新型的有毒廢氣凈化塔，采用雙噴淋系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中噴淋系統(tǒng)與循環(huán)水泵連接，主要用于回收凈化廢氣；第二噴淋系統(tǒng)外接自來水，可以及時清洗掉附著在填料表面的凈化結(jié)晶物；在彎管處于水箱的內(nèi)部設(shè)置鼓泡器，當設(shè)備內(nèi)部有負壓時，從進氣口進入有毒氣體通過鼓泡器產(chǎn)生大量的氣泡，提高廢氣的凈化效率；雙水箱結(jié)構(gòu)設(shè)計，加大了水的循環(huán)，便于在第一水箱內(nèi)部沉積固體顆粒物；第一水箱底部的錐形結(jié)構(gòu)設(shè)計，方便固體顆粒物的及時收集與排出。

上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。

附圖說明

圖1為本實用新型有毒廢氣凈化塔的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標記含義：10.排氣口，11.收水器，12.檢修孔，13.填料，14.噴淋系統(tǒng)，15.第二噴淋系統(tǒng)，16.進氣口，17.第一水箱，18.鼓泡器，19.底部，20.支架，21.排污口，22.第二水箱，23.循環(huán)泵，24.管道，25.塔體，26.彎管。

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型為達成預(yù)定實用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對本實用新型的具體實施方式詳細說明如后。

如圖1所示本實用新型的有毒廢氣凈化塔的結(jié)構(gòu)示意圖，包括有排氣口10、收水器11、檢修孔12、填料13、噴淋系統(tǒng)14、第二噴淋系統(tǒng)15、進氣口16、第一水箱17、鼓泡器18、底部19、支架20、排污口21、第二水箱22、循環(huán)泵23、管道24、塔體25、彎管26。

塔體25的頂部設(shè)置有排氣口10，在塔體25內(nèi)部設(shè)置的第二噴淋系統(tǒng)15的上部與排氣口10之間設(shè)置有收水器11，用于再次凈化廢氣，其中塔體25的一側(cè)面靠近第二噴淋系統(tǒng)15的側(cè)面處設(shè)置有檢修孔12，方便第二噴淋系統(tǒng)15的日常檢修、維護；塔體25一側(cè)靠近填料13的側(cè)面設(shè)置有檢修孔12，方便維護。