[實(shí)用新型]用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420815901.1
• 申請日: 2014-12-18
• 公開（公告）號: CN204257634U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊瑞海;吳浩;任保軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，該測試結(jié)構(gòu)至少包括：

第一金屬層和位于該第一金屬層上的至少兩層介質(zhì)層；

所述每一介質(zhì)層中嵌有穿透該介質(zhì)層上下表面的若干金屬環(huán)；

所述每一介質(zhì)層中的至少一個(gè)金屬環(huán)在所述第一金屬層上的投影彼此重合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述嵌于每一介質(zhì)層中的金屬環(huán)為若干矩形金屬環(huán)；所述若干矩形金屬環(huán)按m*n矩陣排布；所述m、n均大于1；且該矩陣的每行中相鄰矩形金屬環(huán)左右相連；所述彼此相連的矩形金屬環(huán)在彼此相連的部位設(shè)有開口，所述開口彼此貫通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述嵌于每一介質(zhì)層中的金屬環(huán)為若干矩形金屬環(huán)；其中矩形金屬環(huán)按行排布；每行中相鄰矩形金屬環(huán)彼此左右相連；所述彼此相連的矩形金屬環(huán)在彼此相連的部位設(shè)有開口，所述開口彼此貫通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述嵌于每一介質(zhì)層中的金屬環(huán)為若干矩形金屬環(huán)；所述若干矩形金屬環(huán)劃分為數(shù)個(gè)單元,每個(gè)單元中包含至少兩個(gè)彼此左右相連的矩形金屬環(huán)，且所述相連的部位設(shè)有開口；所述開口彼此貫通。

5.根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：彼此相連的矩形金屬環(huán)大小相等；且設(shè)于所述矩形金屬環(huán)相連部位的開口的寬度為該相連邊長的三分之一。

6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：每一介質(zhì)層中至少有一行彼此相連的矩形金屬環(huán)在所述第一金屬層上的投影彼此重合。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：每一介質(zhì)層中至少有一個(gè)所述單元在所述第一金屬層上的投影彼此重合。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：每一介質(zhì)?層中每一行的彼此相連的矩形金屬環(huán)在所述第一金屬層上的投影彼此對應(yīng)重合。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：每一介質(zhì)層中每一所述單元在所述第一金屬層上的投影彼此對應(yīng)重合。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的用于監(jiān)測互連金屬層間粘合性的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述矩形金屬環(huán)中彼此相連部分中嵌有均勻分布的緩沖塊。