[實(shí)用新型]具有溫度和濕度控制的曝光機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420807124.6
• 申請(qǐng)日: 2014-12-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204347434U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁強(qiáng);劉長(zhǎng)征
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東莞市海圣光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 東莞市中正知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 44231
• 代理人: 劉林

1.具有溫度和濕度控制的曝光機(jī)，包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺(tái)，機(jī)座的中端為曝光腔室，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)，操作平臺(tái)的底部設(shè)有控制電箱，操作平臺(tái)的頂部設(shè)有雙工位臺(tái)框、CCD自動(dòng)對(duì)位裝置和操控面板，CCD自動(dòng)對(duì)位裝置位于雙工位臺(tái)框的上方，雙工位臺(tái)框通過(guò)滑軌交替滑入曝光腔室內(nèi)，曝光腔室的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺(tái)和散熱裝置，散熱裝置位于曝光光源組的側(cè)面，該散熱裝置與冷卻機(jī)構(gòu)相連，其特征在于：所述散熱裝置與冷卻機(jī)構(gòu)之間還設(shè)置有濕度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該濕度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由吹風(fēng)扇和濕度調(diào)節(jié)模組構(gòu)成，濕度調(diào)節(jié)模組包括濕度感測(cè)器、濕度控制器及加濕器，濕度感測(cè)器及加濕器均與濕度控制器電氣連接，吹風(fēng)扇具有入風(fēng)側(cè)及出風(fēng)側(cè)，吹風(fēng)扇的出風(fēng)側(cè)及加濕器均與曝光臺(tái)相通;所述冷卻機(jī)構(gòu)包括定位架、溫度感測(cè)器和鼓風(fēng)裝置，定位架安裝于曝光腔室的后端，且與曝光腔室導(dǎo)通形成冷卻室，溫度感測(cè)器和鼓風(fēng)裝置安裝在定位架的中間，鼓風(fēng)裝置與曝光腔室內(nèi)的散熱裝置連接。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述具有溫度和濕度控制的曝光機(jī)，其特征在于：所述冷卻機(jī)構(gòu)還包括排風(fēng)裝置，排風(fēng)裝置設(shè)在定位架上，且與鼓風(fēng)裝置對(duì)稱(chēng)安裝，排風(fēng)裝置與吹風(fēng)扇的出風(fēng)側(cè)導(dǎo)通連接。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有溫度和濕度控制的曝光機(jī)，其特征在于：所述濕度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還包括一熱交換器，該熱交換器設(shè)置于吹風(fēng)扇的出風(fēng)側(cè)與曝光臺(tái)之間。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有溫度和濕度控制的曝光機(jī)，其特征在于：所述濕度感測(cè)器還包括用于指示水份含量的水分指示器，水分指示器設(shè)置于吹風(fēng)扇的入風(fēng)側(cè)，水分指示器由透明外殼和安裝于透明外殼內(nèi)部的可變色的硅膠顆粒構(gòu)成。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有溫度和濕度控制的曝光機(jī)，其特征在于：所述曝光光源組由上LED光源陣面、下LED光源陣面及配套的風(fēng)冷散熱風(fēng)道和強(qiáng)制風(fēng)冷散熱風(fēng)機(jī)組成，風(fēng)冷散熱風(fēng)道與散熱裝置相連。