[實用新型]用于蝕刻機化學罐體的冷卻裝置

有效

• 申請號: 201420806151.1
• 申請日: 2014-12-17
• 公開（公告）號: CN204453414U
• 公開（公告）日: 2015-07-08
• 發明（設計）人: 李福春;蒲中軍;鄧飛;蘇川;唐毅強;向勇;王曉;黃毅;何世彬;廖志勇;王梟;陳曉軍
• 申請（專利權）人: 成都工投電子科技有限公司
• 主分類號: B65D88/74
• 分類號: B65D88/74
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所 51213
• 代理人: 伍孝慈

1.一種用于蝕刻機化學罐體的冷卻裝置，其特征在于：它包括固定安裝在化學罐體內部的冷卻體骨架(3)，所述冷卻體骨架(3)上下兩端分別安裝有上蓋板(31)和下蓋板(32)，所述上蓋板(31)的兩側分別安裝有進水連接管組件(1)和出水連接管組件(2)，在所述冷卻體骨架(3)邊緣均勻分布有繞管板(36)，所述繞管板(36)上通過纏繞的方式設置有冷卻管，所述冷卻管的一端與進水連接管組件(1)連接、另一端與出水管組件(2)連接。

2.根據權利要求1所述的用于蝕刻機化學罐體的冷卻裝置，其特征在于所述進水連接管組件(1)包括進水管體，在所述進水管體上端并列設置有第一進水接口(11)、第二進水接口(12)和第三進水接口(13)，在所述進水管體中部設置有手動球閥(15)，在所述進水管體下端設置有第四進水接口(14)，所述出水連接管組件(2)包括出水管體，在所述出水管體上端并列設置有第一出水接口(21)、第二出水接口(22)和第三出水接口(23)，在所述出水管體下端設置有第四出水管接口(24)。

3.根據權利要求2所述的用于蝕刻機化學罐體的冷卻裝置，其特征在于所述冷卻管包括第一冷卻管(37)、第二冷卻管(38)和第三冷卻管(39)，所述第一冷卻管(37)一端與第一進水接口(11)連接、另一端與第一出水接口(21)連接，所述第二冷卻管(38)一端與第二進水接口(12)連接、另一端與第二出水接口(22)連接，所述第三冷卻管(39)一端與第三進水接口(13)連接、另一端與第三出水接口(23)連接。

4.根據權利要求3所述的用于蝕刻機化學罐體的冷卻裝置，其特征在于所述繞管板(36)上從內至外依次設有第一繞管組件，第二繞管組件和第三繞管組件，所述第一繞管組件包括若干個第一繞管過孔(33)，并且所述第一繞管過孔(33)從上至下依次排列在繞管板(36)上，所述第二繞管組件包括若干個第二繞管過孔(34)，并且所述第二繞管過孔(34)從上至下依次排列在繞管板(36)上，所述第三繞管組件包括若干個第三繞管過孔(35)，并且所述第三繞管過孔(35)從上至下依次排列在繞管板(36)上。

5.根據權利要求4所述的用于蝕刻機化學罐體的冷卻裝置，其特征在于所述第一冷卻管(37)依次穿過第一繞管過孔(33)并且纏繞在繞管板(36)上，所述第二冷卻管(38)依次穿過第二繞管過孔(34)并且纏繞在繞管板(36)上，第三冷卻管(39)依次穿過第三繞管過孔(35)并且纏繞在繞管板(36)上。

6.根據權利要求1所述的用于蝕刻機化學罐體的冷卻裝置，其特征在于所述的冷卻體骨架(3)呈圓柱形。