[實用新型]一種立式長晶單晶爐用的爐口堵頭

有效

• 申請號: 201420805195.2
• 申請日: 2014-12-17
• 公開（公告）號: CN204370048U
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發明（設計）人: 武壯文;于洪國;趙靜敏;周曉霞
• 申請（專利權）人: 有研光電新材料有限責任公司
• 主分類號: C30B29/42
• 分類號: C30B29/42;C30B11/00
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 倪中翔

技術領域

本實用新型涉及一種單晶爐構件，特別是一種立式長晶單晶爐用的爐口堵頭。

背景技術

立式長晶法是生長砷化鎵單晶的一種技術。其主要特點是將砷化鎵多晶放在PBN坩堝內，再放在石英管內抽真空后密封，然后再立式長晶單晶爐內生長單晶。單晶爐內襯有石英材料制造的襯管，又稱為爐膛。前述石英管即裝入襯管內，并在石英管下面設置支撐材料。為保持石英管垂直度，在襯管和石英管最上部用保溫毯隔開，并在爐體上部用保溫毯保溫。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種立式長晶單晶爐用的爐口堵頭，其放在立式長晶單晶爐上部端口，可以增加爐體上部端口保溫性，保證爐內熱場均勻，并防止石英材料與保溫毯之間的反應。

為實現上述目的，本實用新型采取以下技術方案：

一種立式長晶單晶爐用的爐口堵頭，它包括由上至下設置的蓋體、爐口固定塊和襯管固定塊；該蓋體為板狀，蓋在該單晶爐的爐口的頂部；該爐口固定塊外部形狀與該爐口的內壁形狀相適應，使得該爐口固定塊恰能插入該爐口并互相貼緊；該襯管固定塊為環狀，且外壁形狀與該單晶爐的襯管的內壁形狀相適應，使得該襯管固定塊恰能插入該襯管并互相貼緊；該襯管固定塊內壁的直徑由上至下依次遞增。

進一步的，所述蓋體為圓盤狀，直徑為250mm，厚度為20mm。

進一步的，所述爐口固定塊為圓盤狀，外徑為155mm。

進一步的，所述襯管固定塊外徑為142mm，內壁直徑最小為120mm，最大為128mm。

進一步的，所述蓋體、爐口固定塊和襯管固定塊均為耐1500℃高溫的纖維。

本實用新型的有益效果是：本實用新型可以增加爐體上部端口保溫性，保證爐內熱場均勻，并防止石英管與保溫毯之間的反應。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖及較佳實施例詳細說明本實用新型的具體實施方式。

如圖1所示，本實用新型提供一種立式長晶單晶爐用的爐口堵頭，用來放在立式長晶單晶爐上部端口。本實用新型包括由上至下設置的蓋體1、爐口固定塊2和襯管固定塊3。該蓋體1為板狀，例如大圓盤，直徑為250mm厚度為20mm，蓋在該單晶爐的爐口的頂部，起到封堵爐口的作用。該爐口固定塊2為外徑155mm的小圓盤，正好與單晶爐的爐口(內徑155mm)精密接觸，因其外部形狀與該爐口的內壁形狀相適應，使得該爐口固定塊2恰能插入該爐口并互相貼緊。該襯管固定塊3為環狀，外徑142mm與襯管(爐膛)內徑一致，且外壁形狀與該單晶爐的襯管的內壁形狀相適應，使得該襯管固定塊3恰能插入該襯管并互相貼緊。該襯管固定塊3內壁的直徑由上至下依次遞增(120mm到128mm)，正好把石英反應管的外徑包括在內，這樣的設計不僅封住了爐膛和石英管之間的熱流，而且保證了石英反應管的中心性，保證了熱場的徑向圓周均勻性，該襯管固定塊。

本實用新型的蓋體1、爐口固定塊2和襯管固定塊3均為耐1500℃高溫的纖維，并與石英管不反應。

綜上所述，本實用新型一種立式長晶單晶爐用的爐口堵頭，用來放在立式長晶單晶爐上部端口，其可達到的效果如下：

1、本實用新型的爐口堵頭可以增加單晶爐上部端口保溫性能。

2、本實用新型利用襯管固定塊的專門形狀可以保證石英管的中心性，保證爐內熱場均勻。

3、本實用新型可以防止石英材料與保溫毯之間的反應，從而導致石英管外表出現大量析晶，出現石英管破裂，導致單晶生長失敗的情況發生。

以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型的結構作任何形式上的限制。凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型的技術方案的范圍內。