[實用新型]密閉式晶圓傳送盒

有效

• 申請號: 201420802525.2
• 申請日: 2014-12-17
• 公開（公告）號: CN204464249U
• 公開（公告）日: 2015-07-08
• 發明（設計）人: 江枝茂;邱銘隆;洪國鈞;莫逸涵
• 申請（專利權）人: 中勤實業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京匯智英財專利代理事務所(普通合伙) 11301
• 代理人: 鄭玉潔

1.一種密閉式晶圓傳送盒，其特征在于包括：

一個盒體，具有一個容置空間，且于該盒體的一側開設有一個供數個晶圓框架置入于該盒體內的開口；?

一個蓋體，設于該開口處，且相對應于該開口，蓋合于該開口時該盒體呈一個密閉盒體；

至少一個樞接結構，設在該蓋體上，并樞接于該盒體的開口一端處，且該樞接結構樞接于該盒體與該蓋體之處相對應；以及

至少一個限位扣，其設在該盒體一端且位于該開口處并與該樞接結構相配合，該限位扣與該樞接結構可組卸的連接。

2.如權利要求1所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該樞接結構包括一個第一轉軸及一個與該第一轉軸平行設置的第二轉軸；該第一轉軸的兩端分別與該第二轉軸的兩端連接；該第一轉軸與該限位扣可拆卸地樞接；該第二轉軸與該蓋體樞接。

3.如權利要求2所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該蓋體的內表面設有第一彈性夾持件；該盒體內設有第二彈性夾持件及第三彈性夾持件，且該第二、第三彈性夾持件兩者與該第一彈性夾持件相對設置；該第一、第二、第三彈性夾持件三者與該各晶圓框架的接觸表面均富彈性且呈波浪狀。

4.?如權利要求1至3中任一項所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該蓋體與該盒體間的接合處設有至少一個用于扣緊或松開該蓋體與該盒體兩者連接狀態的活動鎖扣。

5.如權利要求4所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該活動鎖扣包含一個活動連接軸片及一個鎖扣；該活動連接軸片的一端可旋轉地連接于該蓋體上，該活動連接軸片的另一端可旋轉地連接于該鎖扣的一端；該鎖扣的另一端可拆卸地與該盒體連接。

6.如權利要求1至3中任一項所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該蓋體與該盒體間的接合處設有至少一個用于扣緊或松開該蓋體與該盒體兩者連接狀態的滑動鎖扣。

7.如權利要求6所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該滑動鎖扣包含一個長滑軌、一個短滑軌及一個滑扣；該長滑軌設于該蓋體或該盒體上，且該短滑軌相對于該長滑軌設置于相應的該盒體或該蓋體上；該蓋體與該盒體呈扣緊狀態下，該滑扣與該長滑軌、該短滑軌兩者滑配連接：該蓋體與該盒體呈松開狀態下，該滑扣與該長滑軌滑配連接。

8.如權利要求1至3中任一項所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該蓋體上設有一個用于扣緊或松開該蓋體與該盒體兩者連接狀態的旋動鎖扣。

9.如權利要求8所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該旋動鎖扣包含一個旋轉件及數根與該旋轉件連動設置的連桿；該旋轉件設置于該蓋體的外表面；該各連桿設置于該蓋體的內表面，且該各連桿的末端均設有勾扣；該盒體內設有與該各勾扣相配合的溝槽。

10.如權利要求3所述的密閉式晶圓傳送盒，其特征在于：該第一彈性夾持件包含有數個間隔條，其中該各間隔條的側面呈現一個供引導并抵靠在該每一個晶圓框架相對于該蓋體內面的對向邊的V型開口，該兩相鄰間隔條之間具有一個供該各間隔條彈性接觸該晶圓框架的對向邊的間隙。