[實用新型]超低溫度誤差的壓力傳感器

有效

• 申請號: 201420801736.4
• 申請日: 2014-12-17
• 公開（公告）號: CN204313994U
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發明（設計）人: 李德芳
• 申請（專利權）人: 淄博納泰微系統傳感有限公司
• 主分類號: G01L1/02
• 分類號: G01L1/02;G01L7/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種壓力變送器，尤其涉及到超低溫度誤差的壓力傳感器。

背景技術

小量程擴散硅壓力傳感器在生產過程中，由于其芯片本身的溫漂比中、大量程的要大，傳統的壓力變送器在封裝是采用壓環與基座將膜片固定，存在的問題是傳感器壓環和基座材料之間熱膨脹系數存在差別,在封裝部位會引入應力，這一封裝應力引起傳感器膜片的彎曲而產生誤差,這一應力隨著材料的蠕變而逐步被釋放,引起壓力傳感器的零點漂移，再加上充油的影響，導致傳感器的溫漂誤差很大。

實用新型內容

本實用新型提供一種解決上述問題的超低溫度誤差的壓力傳感器。

本實用新型采用如下技術方案：

超低溫度誤差的壓力傳感器，包括基座，其特征是，

基座，基座上端設有凹槽，基座中心部有中心孔，中心孔內設有陶瓷蓋帽，陶瓷蓋帽中心部設有通孔，陶瓷蓋帽下部固定有管座，管座與基座下端為一體結構，陶瓷蓋帽與管座形成第一空腔，第一空腔內設有與管座固定的壓力芯片，壓力芯片通過鋁絲與管座上的管腳連接，第一空腔內填充油硅油；膜片外沿與基座外沿焊接固定，膜片與基座的凹槽形成第二空腔，第二空腔通過陶瓷蓋帽上的通孔與第一空腔連通；基座的豎邊與底邊相交處設有圓周方向的第一溝槽，凹槽底部設有多條第二溝槽，第一溝槽連通中心孔和第一溝槽；膜片直接焊接在基座上，省去了壓環結構，使結構更簡單，同時也避免了壓環給傳感器帶來的應力；凹槽可以讓基座與膜片之間有一定的空隙，后續的充油工藝可以使油充分浸潤到殼體內部，達到充油充分的效果，為了使充油充分，防止死角，在基座的豎邊與底邊相交處設有圓周方向的第一溝槽，凹槽底部設有多條第二溝槽，第二溝槽連通中心孔和第一溝槽，第二溝槽，可以多形式分布，比如星狀，十字狀，以使第一溝槽、第二溝槽連通順暢，充油均勻為目的。中心孔內設有陶瓷蓋帽安裝高度等于或略低于中心孔上平面。

其中，基座外沿頂端設有焊槽，焊縫可以焊接在焊槽內，避免焊縫在基座有凸起，造成表面不平，并且焊接面增加，焊接更堅固。

本實用新型的優點為：消除了壓環帶給傳感器帶來的應力影響；傳感器的零點漂移得到了很大程度地改善。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的基座的俯視示意圖；

其中，1、基座，2、凹槽，3、陶瓷蓋帽，4、通孔，5、管座，6、第一空腔，7、管腳，8、膜片，9、第二空腔，10、壓力芯片，11、焊槽，12、第一溝槽，13、第二溝槽,14、中心孔。

具體實施方式

如圖1、2所示，超低溫度誤差的壓力傳感器，包括基座1，基座1上端設有凹槽2，基座1中心部有中心孔14，中心孔14內設有陶瓷蓋帽3，陶瓷蓋帽3中心部設有通孔4，陶瓷蓋帽3下部固定有管座5，管座5與基座1下端為一體結構，陶瓷蓋帽3與管座5形成第一空腔6，第一空腔6內設有與管座5固定的壓力芯片10，壓力芯片10通過鋁絲與管座5上的管腳7連接，第一空腔6內填充油硅油；

膜片8外沿與基座1外沿焊接固定，基座1外沿頂端設有焊槽11，膜片8通過焊槽11焊接在基座1上，膜片8與基座1的凹槽2形成第二空腔9，第二空腔9通過陶瓷蓋帽3上的通孔4與第一空腔6連通；基座1的豎邊與底邊相交處設有圓周方向的第一溝槽12，凹槽2底部設有多條第二溝槽13，第二溝槽13連通中心孔14和第一溝槽12。

本產品屬于無壓環的壓力傳感器，在去掉壓環后，封裝傳感器后，為進一步減少傳感器的零點漂移，本產品在充油均勻方面進行了改進，經測定，改進后的方案比單純去掉壓環后的傳感器在零點熱漂移的改善有更大的提高。