[實用新型]一種晶棒改尺機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420799612.7
• 申請日: 2014-12-16
• 公開（公告）號: CN204322321U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發(fā)明（設計）人: 李若俊
• 申請（專利權）人: 揚州合晶科技有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 趙秀斌

技術領域

本實用新型涉及晶棒加工裝置領域，特別是涉及一種晶棒改尺機。

背景技術

生產不同直徑的硅單晶圓棒，直徑通常為8“、6.5”、6”、5“、4”，公差為±2毫米；生產中有時會出現(xiàn)尺寸超過下偏差報廢的產品；也有生產放量的遺留產品，如直接報廢或回爐都會造成較大損失(2-5萬)，如大直徑改小直徑，采用傳統(tǒng)滾磨機，改尺較大時，磨下的硅料不但造成浪費，還會造成環(huán)境污染。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種晶棒改尺機，通過本實用新型可以對晶棒的直徑進行修改，解決原材料浪費、環(huán)境污染的技術問題。

本實用新型解決上述問題的技術方案是：

一種晶棒改尺機，包括支架和底座，所述支架固定在底座上，且支架上安裝有電機，所述支架下方設置有三爪卡盤，所述電機下方安裝有套鉆，所述套鉆下方安裝有套筒刀具，所述套筒刀具正對于三爪卡盤；

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進，

進一步，所述套筒刀具內部設置有金剛石；

進一步，它包括收集箱，所述收集箱設置在底座內部且位于三爪卡盤下方；

本實用新型通過連接在套鉆上的套筒刀具，能將大尺寸直徑晶棒改為較小直徑產品，相比滾磨機，尺寸越大優(yōu)勢越大，本實用新型套出的晶棒，滾?磨約5毫米后即可作為產品出售；

通過收集箱收集刀具套出的外套可做為邊皮料回收利用，這樣可以最大程度的利用原材料，防止材料的浪費。

本實用新型的有益效果：

1.本實用新型通過內部設置有金剛石的套筒刀具為晶棒進行加工，能夠方便的對其直徑進行修改，而且修改后的材料能夠廢物利用，能夠有效防止環(huán)境污染和資源浪費；

2.本實用新型結構簡單，操作方便且工作效率高。

附圖說明

圖1為本實用新型具體實施例所述的一種晶棒改尺機的結構示意圖；

附圖中，各標號所代表的部件列表如下：

1、支架，2、底座，3、電機，4、三爪卡盤，5、套鉆，6、套筒刀具，7、收集箱,8、晶棒。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。

一種晶棒改尺機，包括支架1和底座2，所述支架1固定在底座2上，且支架1上安裝有電機3，所述支架1下方設置有三爪卡盤4，所述電機3下方安裝有套鉆5，所述套鉆5下方安裝有套筒刀具6，所述套筒刀具6正對于三爪卡盤4，所述套筒刀具6內部設置有金剛石；

它包括收集箱7，所述收集箱7設置在底座2內部且位于三爪卡盤4下方；

本實用新型通過連接在套鉆5上的套筒刀具6，能夠方便的對晶棒直徑進行修改，能將大尺寸直徑較小直徑產品，相比滾磨機，尺寸越大優(yōu)勢越大，而且能夠通過收集箱收集材料，以便進行回收利用，這樣可以最大程度的利?用原材料，防止材料的浪費。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。