[實用新型]光刻膠桶輔助裝置有效
| 申請號： | 201420797611.9 | 申請日： | 2014-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN204331288U | 公開（公告）日： | 2015-05-13 |
| 發明（設計）人： | 崔相玉;魏明德;金惠東;金度亨 | 申請（專利權）人： | 徐州同鑫光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 張榮亮 |
| 地址： | 221000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 輔助 裝置 | ||
1.一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架(3)，固定支架(3)內側放置有光刻膠桶(1)，光刻膠桶(1)內插有引流導管(2)，其特征在于，還包括驅動結構(4)和控制結構(5)，所述固定支架(3)安裝在驅動結構(4)上方，所述驅動結構(4)安裝在固定支架(3)的下方，用于調整固定支架(3)的傾斜度；所述控制結構(5)與驅動結構(4)連接，用于控制驅動結構(4)工作。
2.根據權利要求1所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述驅動結構(4)包括左側驅動軸(4A)和右側驅動軸(4B)，所述左、右側驅動軸(4A、4B)分別位于固定支架(3)下兩側，通過調節固定支架(3)左右兩側的高度調整固定支架(3)的傾斜度。
3.根據權利要求1或2所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述控制結構(5)以時間為基準設置固定支架(3)及固定支架(3)內光刻膠桶(1)的傾斜角度，固定支架(3)及固定支架(3)內的光刻膠桶(1)在驅動結構(4)的作用下根據事前設置的幅度傾斜。
4.根據權利要求3所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述控制結構(5)包括馬達和控制器，所述控制器根據內設的時間控制馬達的工作狀況，帶動驅動結構(4)工作調整固定支架(3)及光刻膠桶(1)的傾斜度。
5.根據權利要求1、2或4所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述驅動結構(4)上還安裝有停止感應器，當固定支架(3)的底部觸碰到停止感應器時，驅動結構(4)停止工作，固定支架(3)及光刻膠桶(1)將停止傾斜。
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