[實用新型]光刻膠桶

有效

• 申請號: 201420797238.7
• 申請日: 2014-12-16
• 公開（公告）號: CN204323945U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 崔相玉;魏明德;金惠東;金度亨
• 申請（專利權）人: 徐州同鑫光電科技有限公司
• 主分類號: B65D47/18
• 分類號: B65D47/18;B65D25/02
• 代理公司: 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244
• 代理人: 劉新合

技術領域

本實用新型涉及一種光刻膠桶，具體是能提高光刻膠利用率的光刻膠桶。

背景技術

半導體制造領域，為維持企業市場競爭力，生產高品質、低成本的產品尤為重要。光刻膠單價偏高，在整個成本核算中，占比例較重。提高光刻膠利用率，為降本增效，提升企業競爭力的有效途徑。

一般半導體工序中，光刻膠通過引流管實現垂直方向的流動，但光刻膠桶底為平底，必然會導致部分光刻膠溶液殘留于桶底。為了解決上述問題，可以嘗試將光刻膠桶傾斜放置，但膠桶存在傾倒隱患，不能從根本上解決問題。

實用新型內容

針對上述現有技術存在的問題，本實用新型提供一種光刻膠桶，降低光刻膠殘余量，提高光刻膠利用率，降低生產成本。

為了實現上述目的，本一種光刻膠桶，包括桶口、桶壁和桶底，構成盛裝光刻膠的腔體，所述桶口處設置引流管，所述引流管吸取腔體內的光刻膠，且桶口為圓柱形，其桶底內壁為圓錐形，引流管噴嘴固定于桶底圓錐形結構的頂部。

本實用新型光刻膠桶的桶底為圓錐形，與現有技術光刻膠桶的桶底為平底的相比，剩余的光刻膠都聚積于圓錐形頂部，并將引流管噴嘴固定于圓錐形頂部，使得99％的光刻膠得到充分利用，從而達到降低生產成本的效果。

本實用新型的引流管可以為設有斜切面狀的噴嘴，所述噴嘴與桶底圓錐形的頂部相切，能充分地吸取殘留的光刻膠。

本實用新型進一步地，所述桶底圓錐性結構的頂部與其底部的高度差為1cm-3cm。在不改變光刻膠桶外觀尺寸的前提下，1cm-3cm的高度差對膠桶的容積影響不大，同時還可以提高光刻膠利用率。

本實用新型優選地，所述桶底圓錐形結構的頂部與其底部的高度差為1cm。現有的光刻膠桶的容積為3.78L，在不改變膠桶外觀尺寸的前提下，桶底圓錐性結構的頂部與底部高度差為1cm，對容積沒有影響，同時使得光刻膠殘余量降到最低，大大地提高了光刻膠利用率，降低了生產成本。

本實用新型的有益效果是：圓錐形結構的桶底降低了膠桶內光刻膠殘余量，并且引流管噴嘴固定在圓錐形頂部，從而實現光刻膠利用率最大化，也降低了生產成本，提升企業競爭能力。

附圖說明

圖1是現有光刻膠桶的結構示意圖；

圖2是圖1中A處的放大圖；

圖3是本實用新型的結構示意圖；

圖4是圖3中B處的放大圖；

圖中：1、光刻膠，2、膠桶，3、引流管，4、引流管噴嘴。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖1和圖2所示，現有的光刻膠桶的桶底內壁為平底形狀，當光刻膠1在膠桶2中的剩余量不多時，會使得殘余光刻膠1無法通過引流管3實現上下垂直流動，即使引流管噴嘴4很貼近膠桶2的桶底，還是會剩余大量的光刻膠1。由于光刻膠1價格偏高，為降低成本，必須減少光刻膠1殘余量。

如圖3和圖4所示，本實用新型的光刻膠桶包括桶口、桶壁和桶底，構成盛裝光刻膠的腔體，桶口處設置引流管，引流管吸取腔體內的光刻膠，且桶口為圓柱形，該桶底內壁為圓錐形，一方面，該圓錐形結構使得光刻膠1的剩余量比現有的少得很多，另一方面，殘余光刻膠1都聚集于圓錐形頂部，再將引流管噴嘴4固定于桶底圓錐形結構的頂部，實現該殘余光刻膠1的上下垂直流動，使得99％的光刻膠1得到充分利用，提升了光刻膠1利用率，也降低了生產成本，提高企業競爭力。

如圖5所示，本實用新型的光刻膠桶內的引流管設有斜切面狀的噴嘴4，所述噴嘴4與桶底圓錐形的頂部相切，可以充分地吸取殘留的光刻膠。

本實用新型的光刻膠桶可以在其桶底圓錐性結構的頂部與其底部的高度差為1cm-3cm。在不改變光刻膠桶外觀尺寸的前提下，1cm-3cm的高度差對膠桶2的容積影響不大，同時還可以提高光刻膠利用率。

本實用新型優選地技術方案，桶底圓錐形結構的頂部與其底部的高度差為1cm。現有的光刻膠桶的容積為3.78L，在不改變膠桶2外觀尺寸的前提下，桶底圓錐性結構的頂部與底部高度差為1cm，對容積沒有影響，同時使得光刻膠1殘余量降到最低，大大地提高了光刻膠1利用率，降低了生產成本。