[實用新型]一種掩膜板固定裝置

有效

• 申請號: 201420796779.8
• 申請日: 2014-12-15
• 公開（公告）號: CN204509446U
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 馬得貴;吳俊雄;冉應剛;柯賢軍;蘇君海;黃亞清;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭

技術領域

本發明涉及半導體器件制備技術領域，特別是涉及一種掩膜板固定裝置。

背景技術

有機發光二極管(OLED，Organic?Light-Emitting?Diodes)是自發光器件，無需背光源，外觀輕而薄，并且具有顯示功耗低、視角寬、屏幕響應快的優點。因此，有機發光二極管有望取代液晶顯示器。

在有機發光二極管制備過程中，目前較為成熟的技術是采用真空蒸鍍技術，在器件制備過程中，有機材料會淀積在位于蒸發源上方的基板上，為了形成特有的圖案，在基板下方緊貼有掩膜板，掩膜板上預先留有設計排版好的開口，最終有機材料會通過開口，淀積到基板上面。

在傳統技術中，大尺寸基板鍍膜工藝的掩膜板多采用分割式的掩膜板，各掩膜板受張緊力后焊接在一種掩膜板框架上，在焊接完成后，掩膜板的精度就不可再調整。在焊接過程中容易引起變形，并且在后續工序中，掩膜板在使用過程中，機械張力引起的變形將會使得掩膜板逐漸松弛，上述原因會影響掩膜板開口的精度，造成掩膜板報廢。

發明內容

基于此，有必要提供一種掩膜板固定裝置，應用本發明技術方案，能夠對OLED工序使用過程中的各掩膜板的松緊程度進行微調，降低掩膜板的報廢率。

一種掩膜板固定裝置，包括：配對使用的焊接掩膜板一端的多個分離塊、下框架，以及可調整所述分離塊與所述下框架接觸松緊程度的若干鎖緊機構。

在一個實施例中，所述下框架為矩形框架；所述多個分離塊對稱分布在所述矩形框架的兩邊架上。

在一個實施例中，所述鎖緊機構包括至少一個螺栓。

在一個實施例中，所述多個分離塊自成一體，為一上框架的一部分。

上述掩膜板固定裝置，包括配對使用的多個分離塊、下框架，以及可以調整分離塊與下框架接觸松緊程度的鎖緊機構，可以對OLED工序操作過程中的各掩膜板的松緊程度進行微調，從而降低掩膜板的報廢率。

附圖說明

圖1為一個實施例中的掩膜板固定裝置的俯視示意圖；

圖2為一個實施例中的掩膜板固定裝置的側面視圖及局部放大圖；

圖3為一個實施例中的掩膜板固定裝置中分離塊與掩膜板的焊接結構示意圖；

圖4為一個實施例中的掩膜板固定裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。

參見圖1至圖3，在一個實施例中，提供了一種掩膜板固定裝置。該掩膜板固定裝置包括：配對使用的焊接掩膜板10一端的多個分離塊101、下框架102，以及可調整分離塊101與下框架102接觸松緊程度的若干鎖緊機構103。

具體的，下框架102為矩形框架，多個分離塊101對稱分布在矩形框架的兩邊架上。在使用本裝置的過程中，如圖3，掩膜板的兩端分別焊接在左右對稱的兩個分離塊上。每個分離塊對應于一個鎖緊機構，在本例中，鎖緊機構包括至少一個螺栓，例如可以但不限于為均勻排列的兩個螺栓，可以調整各個分離塊與下框架接觸的松緊程度。

參見圖4，在另一個實施例中，提供了一種掩膜板固定裝置，在本例中，多個分離塊自成一體，為一上框架201的一部分。本實施例中，掩膜板固定裝置的其它部件如下框架202、鎖緊機構203與圖1至圖3中實施例相類似，在此不再贅述。

上述實施例中的掩膜板固定裝置，包括配對使用的多個分離塊、下框架，以及可以調整分離塊與下框架接觸松緊程度的鎖緊機構，可以對OLED工序操作過程中的各掩膜板的松緊程度進行微調，從而降低掩膜板的報廢率。

以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。