[實用新型]高精度標準氣體配氣裝置

有效

• 申請號: 201420795759.9
• 申請日: 2014-12-17
• 公開（公告）號: CN204429223U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 孫書校;孫成軍;于洪濤;鄭建瓴
• 申請（專利權）人: 大連光明特種氣體有限公司
• 主分類號: B01F15/04
• 分類號: B01F15/04;B01F15/02
• 代理公司: 大連非凡專利事務所 21220
• 代理人: 高學剛

1.一種高精度標準氣體配氣裝置，其特征在于：所述的配氣裝置包括多個與成品氣瓶（2）通過管路相連的原料氣瓶（1），且所有的原料氣瓶（1）都相互并聯，每個原料氣瓶（1）的管路上都設置有質量流量控制器（3）和電控閥（4），在成品氣瓶（2）的進氣管路上設置有壓力表（5），成品氣瓶（2）還通過管路與真空泵（6）相連，所述的成品氣瓶（2）放置在電子天平（7）上，而成品氣瓶（2）和電子天平（7）則位于恒溫箱（8）中，恒溫箱（8）內還設置有溫度傳感器（9），質量流量控制器（3）和電子天平（7）通過信號處理電路與電磁閥（4）的控制電路相連。

2.根據權利要求1所述的高精度標準氣體配氣裝置，其特征在于：所述的壓力表（5）為可報警式電接點壓力表。