[實用新型]一種應用于鍍膜制程的叉車

有效

• 申請號: 201420793223.3
• 申請日: 2014-12-16
• 公開（公告）號: CN204311128U
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發明（設計）人: 張佳佳;鄭燁;尚林鵬;朱發明;葉華升;邱智中;余學志;邱樹添
• 申請（專利權）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于光學鍍膜領域，特別涉及一種安裝有載盤的應用于鍍膜制程的叉車，用于降低晶片的破損量和灰塵污染。

背景技術

目前，光學薄膜通常是在光學組件或獨立基板上鍍上一層或多層介電質膜或金屬膜來改變光波傳送特性，廣泛應用于光學儀器。在光學鍍膜過程中，為了制作高純度的薄膜，鍍膜制程須在高真空環境下完成，以電子槍或電阻式加熱薄膜材料，將其由固態轉化為氣態或離子態，進而沉積在基板上逐漸形成薄膜。

在半導體元件制造中，需在晶片的背面鍍上反射鏡膜（如分布布拉格反射鏡，英文縮寫為DBR）改變晶片的出光方向。在進行光學鍍膜前，首先需將待鍍晶片固定在傘狀鍍鍋上，然后將鍍鍋安裝于光學鍍膜機腔體內，進行光學鍍膜；當鍍膜完成后，需將鍍鍋從光學鍍膜機卸下，進而將已鍍晶片取下，在安裝和卸下鍍鍋的過程中，由于鍍鍋體積和重量均較大，需借助叉車移動鍍鍋。現有技術中，叉車由底座、安裝于底座上的豎直滑軌、沿滑軌升降的升降臺以及安裝于升降臺首末端的4個支架組成，鍍鍋倒扣于工件盤上，工件盤放置于支架上，叉車通過升降工件盤移動鍍鍋位置。由于工件盤為環形結構以及升降臺為框架結構，當叉車升降鍍鍋時，放置于鍍鍋上的晶片容易受升降臺的震動而掉落至地面，尤其當鍍鍋處于較高位置時，掉落高度產生的地面沖擊力較大容易產生晶片破損。同時，車間空氣和地面上的灰塵也易污染晶片，導致鍍膜不均勻。

發明內容

為了解決上述不足，本實用新型提供了一種應用于鍍膜制程的叉車，用于移動鍍鍋，其包括：底座、固定于底座上的豎直滑軌、沿滑軌升降的水平升降臺、安裝于升降臺首末端的支架、放置于所述支架上方的工件盤，其特征在于：在所述支架與所述工件盤之間設置實心的載盤。

優選的，所述支架上固定有固定件，所述載盤邊緣具有多個開口和緊鄰于開口的孔口，所述載盤通過所述固定件穿過所述孔口安裝在所述叉車上。

優選的，所述載盤為透明有機玻璃板或透明陶瓷板或透明玻璃纖維板。

優選的，所述載盤形狀為方形或圓形。

優選的，所述載盤的面積大于所述工件盤的面積，使其均處于所述載盤上。

優選的，所述載盤的厚度至少為8mm。

優選的，所述開口數目與所述支架數目一致，至少為4個；所述固定件和所述孔口數目一致，至少為4組，每組至少5個。

優選的，所述固定件為螺栓。

優選的，所述升降臺為方形框架結構。

本實用新型提供的應用于鍍膜制程的叉車，其通過在支架和工件盤中間設置載盤，當晶片由于震動掉落時，將掉落至載盤上而非地面，因此降低晶片掉落的高度，進而減少破損量，同時也可減少來自地面和空氣中污染物對晶片的污染。

附圖說明

圖1為本實用新型之載盤俯視圖。

圖2為本實用新型之叉車俯視示意圖。

圖3為放置有鍍鍋的本實用新型之叉車側視圖。

附圖標注：1：載盤；11：開口；12：孔口；2：滑軌；3：升降臺；4：支架；41：固定件；5：底座；6：工件盤；7：鍍鍋；71：晶片。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例，對本實用新型作進一步的詳細說明，但本實用新型的實施方式不限于此。

請參看圖1至圖3，載盤1放置于支架4上，用于在安裝和卸下鍍鍋7的過程中承載工件盤6和放置有晶片71的鍍鍋7。鍍膜前安裝鍍鍋7時，為便于操作人員從升降臺3下方操作叉車，使鍍鍋7與鍍膜機腔體中的安裝位置對準，因此載盤1需具有透明的特性；鍍膜完成后，鍍鍋7剛卸下時溫度為160℃，并且需放置于載盤1上，因此載盤1需具有至少耐160℃高溫的特性；因此，載盤1可為透明有機玻璃板或透明陶瓷板或透明玻璃纖維板，本實用新型中優先選用透明有機玻璃板。而由于工件盤6和放置有晶片71的鍍鍋7重量較大，因此，承載晶片的載盤1需提供足夠的承載力，載盤1的形狀可為方形或圓形、厚度至少為8mm以上，面積大于工件盤6的面積，本實施例中，優選與鍍膜機腔體形狀匹配的圓形載盤1，其厚度為8mm，圓形載盤1的直徑為1170mm。

為了使載盤1可牢固地安裝于支架4上，載盤1邊緣開設有多個開口11和緊鄰于開口的孔口12，支架4上固定有固定件，載盤1通過固定件41穿過孔口12固定安裝于支架4上；為了使載盤1與支架14穩定固定，開口11形狀和大小與支架4匹配，開口數目與支架4數目一致，本實用新型優選4個開口，固定件41和孔口12數目一致，至少為4組，每組至少為5個，本實施例優選固定件12為螺栓，孔口12設為4組，每組5個。