[實用新型]一種單晶硅爐

有效

• 申請號: 201420780584.4
• 申請日: 2014-12-12
• 公開（公告）號: CN204311155U
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發明（設計）人: 張忠安
• 申請（專利權）人: 江西豪安能源科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B35/00
• 代理公司: 貴陽天圣知識產權代理有限公司 52107
• 代理人: 杜勝雄

技術領域

本實用新型涉及一種單晶硅爐。

背景技術

單晶硅爐主要是用于生產硅半導體材料，單晶硅爐主要包括硅半導體材料生長合成用的爐體以及硅籽晶的提升控制系統，而硅籽晶的質量很大程度上取決于爐體內的清潔度以及真空度，而傳統技術上，爐體不易清洗，導致爐體內雜質過多，另外，傳統技術上的硅籽晶提升過程不夠穩定，降低了硅籽晶的質量。

實用新型內容

針對上述技術問題，本實用新型公開一種單晶硅爐，包括：爐體外殼，其上設置出氣孔，所述爐體外殼的底部設置一排料口，所述排料口上連接一清洗管道，所述清洗管道的另一端連接一抽吸裝置；爐體副腔室，其設置在所述爐體外殼的上部；升降裝置，其設置在所述爐體副腔室的上部，所述升降裝置包括絲桿、滑動機構以及連接在所述絲桿上的電機，所述滑動機構上連接一鋼絲繩，所述鋼絲繩垂直穿過所述爐體副腔室，并伸入至所述爐體外殼內，所述鋼絲繩伸入至爐體外殼內的一端連接一重錘；支架，其設置在所述爐體外殼的下部。

優選地，所述抽吸裝置包括抽吸機和除塵筒。

優選地，所述重錘上設置有鋼絲繩穿孔。

本實用新型的有益效果是所述單晶硅爐提高了硅籽晶生產設備的穩定性，鋼絲繩與鋼絲繩穿孔的直徑相匹配，提高了重錘升降過程中的穩定性，重軸的升降過程更加穩定可靠，且爐體外殼上連接一清洗裝置，使得爐體內的廢料清洗更方便，保持了爐內的環境清潔度，提高了產品質量。

附圖說明

圖1是本實用新型所述單晶硅爐的結構示意圖。

圖中，1-爐體外殼；2-排料口；3-清洗管；4-爐體副腔室；5-升降裝置；6-鋼絲繩；7-重錘；8-支架；9-抽吸機；10-除塵筒。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據以實施。

如圖所示，本實用新型公開一種單晶硅爐，包括：爐體外殼1，其上設置出氣孔，所述爐體外殼1的底部設置一排料口2，所述排料口2上連接一清洗管道3，所述清洗管道3的另一端連接一抽吸裝置；爐體副腔室4，其設置在所述爐體外殼1的上部；升降裝置5，其設置在所述爐體副腔室4的上部，所述升降裝置5包括絲桿、滑動機構以及連接在所述絲桿上的電機，所述滑動機構上連接一鋼絲繩6，所述鋼絲繩6垂直穿過所述爐體副腔室4，并伸入至所述爐體外殼1內，所述鋼絲繩6伸入至爐體外殼1內的一端連接一重錘7；支架8，其設置在所述爐體外殼1的下部。所述抽吸裝置包括抽吸機9和除塵筒10。所述重錘7上設置有鋼絲繩穿孔。所述單晶硅爐提高了硅籽晶生產設備的穩定性，鋼絲繩與鋼絲繩穿孔的直徑相匹配，提高了重錘升降過程中的穩定性，重軸的升降過程更加穩定可靠，且爐體外殼上連接一清洗裝置，使得爐體內的廢料清洗更方便，保持了爐內的環境清潔度，提高了產品質量。

盡管本實用新型的實施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用于各種適合本實用新型的領域，對于熟悉本領域的人員而言，可容易地實現另外的修改，因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實用新型并不限于特定的細節和這里示出與描述的圖例。