[實用新型]一種復合分子泵

有效

• 申請號: 201420773924.0
• 申請日: 2014-12-10
• 公開（公告）號: CN204327532U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 張殿偉
• 申請（專利權）人: 北京中凱威科技發展有限責任公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/54
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369
• 代理人: 史霞

1.一種復合分子泵，該復合分子泵自進氣口至排氣口由渦輪葉片部和筒式牽引部串聯而成，其特征在于，包括：

殼體；

多個一級導流片，其螺旋設置在筒式牽引部靠近所述渦輪葉片部的外側壁上，相鄰兩個所述一級導流片、筒式牽引部外側壁和殼體內側壁之間形成一個流體通道，且所述一級導流片的橫切面為弧形；

以及多個二級導流片，其與所述一級導流片同向螺旋設置在筒式牽引部靠近排氣口的外側壁上，且所述二級導流片與所述一級導流片首尾部分相互交叉設置，所述二級導流片的橫切面為弧形。

2.如權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于，還包括：

多個缺刻，其設置在所述多個二級導流片上，且一個所述二級導流片上設置至少一個所述缺刻，以使得每個所述二級導流片上的至少一個所述缺刻的中心線所在平面與所述筒式牽引部的橫切面平行；

多個輔助壓縮片，其均勻間隔開設置在所述殼體內側壁上，并且使得多個輔助壓縮片的中心線與所述多個缺刻的中心線處于同一平面，所述輔助壓縮片相對于所述殼體的軸線傾斜設置；

其中，所述多個缺刻的開口寬度大于所述輔助壓縮片在所述殼體軸向方向的高度。

3.如權利要求1所述復合分子泵，其特征在于，所述一級導流片和所述二級導流片的弧形圓心靠近排氣口方向設置。

4.如權利要求3所述的復合分子泵，其特征在于，所述一級導流片和所述二級導流片的弧形的弧度為30-60度。

5.如權利要求1所述復合分子泵，其特征在于，所述一級導流片與所述二級導流片的長度比例為1-3∶5。

6.如權利要求5所述的復合分子泵，其特征在于，所述一級導流片與所述二級導流片的交叉的長度小于所述一級導流片長度的1/3。

7.如權利要求2所述的復合分子泵，其特征在于，所述缺刻為矩形。

8.如權利要求2所述的復合分子泵，其特征在于，所述輔助壓縮片與所述殼體的軸線的夾角大于10度。

9.如權利要求1-8中任一項所述的復合分子泵，其特征在于，渦輪葉片部還包括：

轉子體；

渦輪動葉片，其設置在轉子體上；

渦輪靜葉片，其設置在所述殼體內側壁上；

以及電機，其驅動轉子體。